霍纯青
- 作品数：20 被引量：19H指数：3
- 供职机构：北京印刷学院印刷与包装工程学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室更多>>
- 发文基金：北京市教委资助项目北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室开放课题基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺化学工程更多>>
- 磁控溅射制备硅铝阻隔膜的研究被引量：6
- 2007年
- 采用磁控溅射技术以10%Si～90%Al合金为靶材,通入O_2将Si氧化成SiO_2,Al氧化成Al_2O_3,在普通PET薄膜表面制备具有高阻隔性无机阻隔薄膜层,以增加其阻隔性。传统的磁控溅射法制备SiO_2膜工艺,大多采用射频溅射法,但其成本较高,效率较低,无法充分满足大面积工业化镀膜生产的需要。而采用10%Si～90%Al合金不仅可以实现直流溅射工艺,而且测量结果表明,薄膜的阻隔性得到大幅度提高。
- 霍纯青陈强孙运金岳蕾张跃飞刘福平
- 关键词：直流反应磁控溅射
- 等离子体处理提高金属镀层与有机基底附着力的研究被引量：5
- 2008年
- 利用反应磁控溅射技术在有机玻璃(亚克力板)上完成Al的膜层制备,并进行了膜层表面的光泽度、附着力和耐腐蚀性等研究。实验发现,采用这种技术制备的Al膜具有较高的光泽度。在Al膜上沉积一层氧化硅薄膜可以提高耐腐蚀性但不会对Al膜的光泽度产生影响。但是金属薄膜在有机基材上的附着力较差,大约在6 N左右。为此可以利用Ar、O2等离子体对有机玻璃表面进行清洗,或者在薄膜表面添加过渡层,即在镀膜之前先在基材上镀一层其他材料,然后再镀金属膜。实验发现环氧材料或SiO2作为过渡层,薄膜的附着力有显著提高。但需注意提高耐腐蚀性的同时不能影响薄膜光泽度和附着力。
- 霍纯青桑利军陈强岳蕾付亚波
- 关键词：等离子体处理磁控溅射附着力
- 不同形态纳米氧化锌晶体的制备
- 利用空心阴极等离子体放电在单晶硅上成功的沉积了各种形态的纳米氧化锌晶体,在制备过程中,使用氩气作为等离子体形成气体,氧气作为反应气体,由空心阴极放电加热蒸发高纯度锌粉。在测试过程中,利用X射线衍射仪对晶体结构进行表征;利...
- 霍纯青张跃飞边心超陈强
- 关键词：空心阴极蒸发表面形貌
- 文献传递
- Ag/SiO2纳米复合物的制备及研究
- 以HMDSO为单体,氩气为反应气体,采用磁控溅射等离子体技术在单晶硅,载玻片,KBr基片等的表面制备Ag/SiO纳米复合物。用傅立叶红外透射光谱(FTIR),原子力显微镜(AFM)等手段对纳米复合物薄膜进行结构、亲疏水性...
- 廖艳霍纯青蔡惠平陈强
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- 不同形态纳米氧化锌晶体的制备
- 利用空心阴极等离子体放电在单晶硅上成功的沉积了各种形态的纳米氧化锌晶体。在制备过程中，使用氩气作为等离子体形成气体，氧气作为反应气体，由空心阴极放电加热蒸发高纯度锌粉。在测试过程中，利用X射线衍射仪对晶体结构进行表征;利...
- 霍纯青张跃飞边心超陈强
- 关键词：空心阴极晶体结构表面形貌
- 文献传递
- 掺氮DLC薄膜的制备与性能研究
- 利用空心阴极等离子体放电沉积掺氮类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜为典型的类金刚石结构。原子力显微镜分析了薄膜表面的粗糙度;SEM 分析了表面形貌;表面轮廓仪测定沉积速率;利用摩擦磨损仪测定膜的机械性...
- 霍纯青张跃飞边心超陈强
- 关键词：空心阴极掺氮类金刚石薄膜
- 文献传递
- 大气下射频放电过程的流体模型模拟
- <正>基于一维流体力学模型,数值计算模拟了大气压条件下射频电压平行板电极的放电过程。研究了极板间的粒子分布,分析了离子与中性粒子的碰撞效应,讨论了各粒子成
- 霍纯青刘福平陈强
- 关键词：大气等离子体射频放电数值模拟
- 文献传递
- 生物功能材料PEO的制备及其发展方向
- 2007年
- 聚乙烯氧(PEO)因其高亲水性和抗细胞黏附的特性,被视为理想的生物功能材料。目前,PEO的制备主要是采用物理、化学方法。为了探求等离子体技术在PEO制备中的应用,采用电容耦合等离子体化学气相沉积法(CCPECVD)和离子源辅助等离子体化学气相沉积法(IB-PECVD),进行了PEO/PEG材料的制备实验。分析结果表明:采用等离子体化学方法可以制备出具有PEO结构的材料,不同的制备方法对材料的结构有一定的影响。
- 岳蕾周美丽付亚波霍纯青陈强
- 关键词：PEO等离子体生物功能材料
- 磁控溅射制备硅铝阻隔膜的研究
- 采用磁控溅射技术以10%Si～90%Al 合金为靶材,通入 O将 Si 氧化成 SiO,Al 氧化成 AlO,在普通 PET 薄膜表面制备具有高阻隔性无机阻隔薄膜层,以增加其阻隔性。传统的磁控溅射法制备 SiO膜工艺,大...
- 霍纯青陈强孙运金岳蕾张跃飞刘福平
- 关键词：直流反应磁控溅射
- 文献传递
- 射频条件下大气等离子体物理化学过程数值模拟
- 由于大气等离子体放电不需要真空设备、成本低廉、使用方便,其在产生和应用方面有着广泛前景。因此近年来,大气等离子体放电的研究得到了迅速发展。本文用数值模拟方法研究了在大气压下射频电源(13.56MHz)产生的等离子体放电中...
- 霍纯青
- 关键词：大气压射频密度分布
- 文献传递
