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谢仁艿

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：南京大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氮化铝
  • 1篇氮化铝薄膜
  • 1篇体声波
  • 1篇谐振器
  • 1篇ALN
  • 1篇NBN

机构

  • 1篇南京大学

作者

  • 1篇陈亚军
  • 1篇谢仁艿
  • 1篇韦戌
  • 1篇康琳
  • 1篇吴培亨

传媒

  • 1篇第八届全国超...

年份

  • 1篇2004
共 3 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于NbN,AlN技术的体声波器件研究
体声波滤波器由于其低插损、小尺寸、高带外抑制等特性,随着第三代移动通信以及蓝牙技术的发展而得到广泛研究,而MEMS技术和压电薄膜制备技术的进一步发展使高性能的体声波滤波器制作成为可能.我们以单晶MgO作为器件衬底,MgO...
谢仁艿康琳陈亚军韦戌吴培亨
关键词：体声波谐振器氮化铝薄膜
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