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许晟瑞
作品数:
212
被引量:21
H指数:3
供职机构:
西安电子科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝跃
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
张进成
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
李培咸
西安电子科技大学
马晓华
西安电子科技大学技术物理学院
林志宇
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
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西安电子科技...
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许晟瑞
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2010
3篇
2009
2篇
2007
1篇
2006
共
212
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基于质子辐照处理的金刚石基InAlN/GaN高电子迁移率晶体管及制备方法
本发明公开了一种基于金刚石衬底的InAlN/GaN高电子迁移率晶体管及制备方法,主要解决现有同类器件界面结合强度差、界面热阻高、工艺流程复杂的问题。其自下而上包括:金刚石衬底(1)、GaN沟道层(2)和InAlN势垒层(...
许晟瑞
许文强
贠博祥
张金风
彭利萍
张雅超
周弘
张进成
郝跃
文献传递
基于r面Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>衬底上非极性a面GaN薄膜的MOCVD生长方法
本发明公开了一种基于r面Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>衬底的非极性a面GaN薄膜的生长方法,主要解决常规非极性材料生长中材料质量、表面形貌较差的问题。其生长步骤是:(1)将r面Al<Sub>2</...
许晟瑞
郝跃
周小伟
张进成
史林玉
陈珂
杨传凯
欧新秀
文献传递
基于m面GaN上的极性GaN纳米线材料及其制作方法
本发明公开了一种基于m面GaN上的极性GaN纳米线材料及其制作方法,主要解决常规极性GaN纳米线生长中工艺复杂、生长温度高、纳米线长度短的问题。其生长步骤是:(1)在m面GaN衬底上蒸发一层1‑20nm金属Ti;(2)将...
许晟瑞
姜腾
郝跃
张进成
张春福
林志宇
陆小力
倪洋
文献传递
基于c面SiC衬底的c面Ⅲ族氮化物的发光二极管
本发明公开了一种基于c面SiC衬底的c面Ⅲ族氮化物的发光二极管,主要解决现有LED生长步骤多,工艺周期长的问题。其自下而上包括:c面SiC衬底层、AlN成核层、发光层和电极,其中AlN成核层由Ⅴ/Ⅲ比为15000‑230...
许晟瑞
彭若诗
范晓萌
林志宇
刘大为
张进成
孟锡俊
李培咸
牛牧童
马德璞
郝跃
一种片上可集成的氮化镓基雪崩光电探测器及其制备方法
本发明涉及一种片上可集成的氮化镓基雪崩光电探测器及其制备方法,包括:制备P型掺杂的氮化镓层;在P型掺杂的氮化镓层上制备第一N型掺杂的氮化镓层;在第一N型掺杂的氮化镓层上制备第二N型掺杂的氮化镓层;在第二N型掺杂的氮化镓层...
曹艳荣
吕航航
马毛旦
王志恒
许晟瑞
吕玲
习鹤
郑雪峰
陈川
张新祥
吴琳姗
含有非极性m面GaN缓冲层的InN半导体器件的制备方法
本发明公开了一种含有非极性m面GaN缓冲层的InN半导体器件的制备方法,步骤是:(1)将γ面LiAlO<Sub>2</Sub>衬底置于MOCVD反应室中,对衬底进行热处理;(2)在γ面LiAlO<Sub>2</Sub>衬...
许晟瑞
曹荣涛
张进成
郝跃
孙文豪
葛莎莎
文献传递
基于m面LiAlO<Sub>2</Sub>衬底的m面Ⅲ族氮化物的发光二极管
本发明公开了一种基于m面LiAlO<Sub>2</Sub>衬底的m面Ⅲ族氮化物的发光二极管,主要解决现有LED生长步骤多,工艺周期长的问题。其包括:m面LiAlO<Sub>2</Sub>衬底层、GaN缓冲层、发光层和电极...
许晟瑞
彭若诗
杜金娟
李培咸
刘大为
张进成
李雨洋
黄俊
牛牧童
黄钰智
孟锡俊
郝跃
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复合双向开关及其制作方法
本发明公开了一种复合双向开关,主要解决现有开关器件存在不能同时进行双向导通和双向阻断的问题。其包括:衬底、过渡层、第一沟道层、第一势垒层、第二沟道层和第二势垒层,沟道层与势垒层的左、右两侧均设有第一台面,其上分别设有左、...
毛维
裴晨
杨翠
杜鸣
马佩军
许晟瑞
张进成
郝跃
基于黑磷和磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法
本发明公开了一种基于黑磷和磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法,主要用于改善氮化镓材料质量。其生长步骤是:(1)制备黑磷过渡层;(2)磁控溅射氮化铝过渡层;(3)热处理;(4)生长氮化铝缓冲层;(5)生长低V‑Ш比氮化镓层;(...
张进成
朱家铎
陈智斌
庞凯
吕佳骐
许晟瑞
林志宇
宁静
张金
郝跃
文献传递
绝缘栅型源场板异质结场效应晶体管
本发明公开了一种绝缘栅型源场板异质结场效应晶体管,该器件自下而上包括衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、绝缘介质层(6)、绝缘栅极(7)、钝化层(8)、源场板(9)和保护层(11),该源场板(...
毛维
郝跃
杨翠
过润秋
张进成
马晓华
许晟瑞
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