洪德斌
- 作品数:3 被引量:0H指数:0
- 供职机构:山东大学信息科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程更多>>
- 粉末溅射平面薄膜型SnO_2/CeO_2酒敏元件性能测试
- 2006年
- 给出了SnO2/10%CeO2(0.4 mm×0.6 mm×0.4 mm)元件的温耗特性曲线,研究了老化的温度和时间,研究了气敏电流Ig与气体浓度C的关系,并给出了一个普遍适用的规律。
- 洪德斌陈慧凯孙玉珍于宗智马捷
- 粉末溅射ZnO薄膜酒敏元件
- 2007年
- 针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题,开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料.采用粉末溅射法研制ZnO:1%CeO2薄膜,利用衬底Al2O3与ZnO晶体均为六方结构的特点,选择适当溅射参数研制出薄膜气敏元件,同时通过悬挂芯片双点焊工艺,使元件更加小型化.长期检测结果表明,此类元件气敏特性和稳定性良好,适合进一步推广应用.
- 周磊邢建平周晨洪德斌裘南畹
- 关键词:粉末溅射
- 粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件性能测试
- 给出了SnO2/10%CeO2(0.4mm×0.6mm×0.4mm)元件的温耗特性曲线,研究了老化的温度和时间,研究了气敏电流Ig与气体浓度C的关系,并给出了一个普遍适用的规律。
- 洪德斌陈慧凯孙玉珍于宗智马捷
- 关键词:粉末溅射传感器
- 文献传递