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李楚元
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上海理工大学
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吴宇昊
上海理工大学
李湘宁
上海理工大学
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吴宇昊
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一种检测平面误差系统
本发明涉及一种检测平面误差系统,白色的光源发出的照明光束穿过照明光学系统,出射的平行光经过半透半反镜和无限远型物镜,聚焦在被检测物体上,被检测物体反射的光进入色差产生系统,不同波长的光对于同一光学系统有不同的焦距,所以也...
李湘宁
李楚元
吴宇昊
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