宋晓辉
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金国家高技术研究发展计划天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 脉冲激光MEMS加工技术被引量：4
- 2003年
- 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统 (MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米 /亚微米加工精度 ,且适用于多种材料 ,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光 LIGA技术。
- 李艳宁唐洁饶志军宋晓辉胡晓东傅星胡小唐
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀集成电路
- AFM诱导氧化加工Si纳米氧化线的一致性和连续性的研究
- 2005年
- 研究了在不同的偏置电压和扫描速度下加工的Si氧化线的一致性和均匀性,得到了加工高质量的Si氧化线的实验条件为:偏置电压8V,扫描速度1 μm/s。
- 宋晓辉匡登峰李艳宁刘庆纲胡小唐
- 关键词：一致性连续性偏置电压
- 脉冲激光MEMS加工技术
- 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到...
- 李艳宁唐洁饶志军宋晓辉胡晓东傅星胡小唐
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀激光微加工
- 文献传递
- 大气状态下AFM阳极氧化加工Si的研究被引量：3
- 2006年
- Si纳米氧化线是构筑基于Si的纳米器件的基础。通过AFM针尖诱导阳极氧化加工的n型Si(100)的实验得到凸出的n型Si(100)氧化物高度和偏置电压成线性关系,与针尖扫描速度成负对数关系,并在前人的基础上深化了AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型,得到了合适的加工条件为偏压8 V和扫描速度1μm/s。
- 宋晓辉李艳宁匡登峰刘庆纲胡小唐
- 关键词：AFM阳极氧化偏置电压
- 一种新型STM纳米计量仪被引量：2
- 2004年
- 阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器,将扫描分为Z向和X Y平面扫描两部分,Z向扫描由独立的PZT驱动,X Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成.这种设计理论上能使Z方向上Abbe误差完全消除,X Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半,最大50μm,使Abbe误差减小至可忽略的程度.微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差.
- 李艳宁饶志军唐洁宋晓辉胡晓东付星胡小唐
- 关键词：扫描隧道显微镜柔性铰链激光干涉仪
