孔营
- 作品数:15 被引量:8H指数:2
- 供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术金属学及工艺理学核科学技术更多>>
- 离化增强的脉冲阴极弧沉积TiCN薄膜结构和性能研究
- 研制了新型的脉冲阴极弧用于增强空间等离子体密度,取得了较好的实验效果。与直流阴极弧相比,利用脉冲阴极弧技术可以提高等离子体密度并将基体获得电流提高5-6倍,Ti CN薄膜显微硬度由1075HV0.1提高到1616HV0....
- 马英鹤孔营吴明忠胡健巩春志田修波
- 关键词:显微硬度结合力
- 文献传递
- 离化增强的脉冲阴极弧沉积TiCN薄膜结构和性能研究
- 研制了新型的脉冲阴极弧用于增强空间等离子体密度,取得了较好的实验效果.与直流阴极弧相比,利用脉冲阴极弧技术可以提高等离子体密度并将基体获得电流提高5-6 倍,TiCN 薄膜显微硬度由1075HV0.1 提高到1616HV...
- 马英鹤孔营吴明忠胡健巩春志田修波
- 关键词:显微硬度结合力
- 氮气气压对阴极弧CrTiAlN薄膜组织和性能影响研究
- CrAlTiN由于具有较高的硬度、高温抗氧化性能和耐腐蚀性能在硬质薄膜领域得到了广泛的应用。CrTiAlN是以Al Ti N为基础,通过添加Cr元素构成的多层复合膜层。相比传统的Ti N薄膜,Al的加入,可使涂层抗氧化温...
- 孔营马英鹤吴明忠巩春志田修波
- 文献传递
- 高功率脉冲电流对磁控溅射TiN薄膜结构及力学性能影响被引量:1
- 2015年
- 采用高功率脉冲磁控溅射技术在M2高速钢基体上沉积了TiN薄膜,研究了不同脉冲电流下TiN膜层的沉积速率、膜基结合力、晶体生长取向、纳米硬度和摩擦磨损性能等。结果表明:随着脉冲电流的增加,膜层沉积速率不断增大,膜层致密度逐渐增强。当脉冲电流增加到20A以上时膜层沿着(111)面择优生长并且具有最高的I_(111),这与能流密度效应有关。脉冲电流为20A时的膜层表面具有最高的硬度(可达25GPa)、最高的膜基结合力(可达70N,压痕评定优于HF2)和较好的耐摩擦磨损性能。
- 李永健孔营胡健耿慧远巩春志田修波
- 关键词:TIN脉冲电流力学性能
- 氮气气压对阴极弧CrTiAlN薄膜组织和性能影响研究
- CrAlTiN 由于具有较高的硬度、高温抗氧化性能和耐腐蚀性能在硬质薄膜领域得到了广泛的应用.CrTiAlN 是以AlTiN 为基础,通过添加Cr 元素构成的多层复合膜层.相比传统的TiN 薄膜,Al 的加入,可使涂层抗...
- 孔营马英鹤吴明忠巩春志田修波
- 小脉冲组合直流阴极弧制备AlCrN薄膜
- 阴极脉冲弧源可以显著降低大颗粒数量并提高离化程度,直流组合脉冲弧可保持电弧稳定。本文通过小脉冲组合直流阴极弧离子镀技术增强真空室内气体离化,增大基体电流,以获得高性能 AlCrN 薄膜。
- 吴厚朴林爱国孔营马英鹤巩春志田修波
- 关键词:放电特性
- 真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究被引量:2
- 2019年
- 由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式三个主要影响因素。得出如下结论:真空室气压低于5.0×10-3Pa时喷酒精不能够检出漏点,气压在5.0×10-3Pa^9.9×10-3Pa范围酒精检漏的气压变化趋势为先下降后上升再下降,在气压1.0×10-2Pa^9.9×10-2Pa范围里喷完酒精后,真空室内的气压变化趋势是先略微下降后上升再下降,在1.0×1010-1Pa^9.9×1010-1Pa气压范围,由于漏点尺寸大,喷酒精后,气压无下降,直接先上升后下降;相比两个分子泵,一个分子泵工作检漏时,漏点检出时间长且易漏检,所以在实际泵速较小或真空室较大的真空系统检漏时要特别注意,防止漏检。简单结构漏点喷酒精检漏用时短易检出,而结构复杂的漏点气压反应所用时间长易漏检。以上研究结果为真空生产和应用单位采用酒精高效简易检漏提供了有效指导。
- 靳朋礼巩春志孔营张鑫马玉山刘海波何涛岳玲田修波
- 关键词:真空检漏酒精氦质谱检漏仪
- 铝合金强流脉冲电子束辐照熔化层尺寸数值模拟研究被引量:1
- 2015年
- 强流脉冲电子束表面改性过程中熔化层尺寸是改性效果的衡量指标之一。针对改性中不同束流情况引发的温度场和融化层情况进行了仿真研究。通过对温度场变化等结果的分析,发现仅增加辐照次数不能有效增加熔化层尺寸。在总功率、辐照时间等不变的情况下可以对束斑的电流分布进行控制来实现熔化层控制。对束斑直径聚焦的仿真显示束斑尺寸对熔化层熔深熔宽均有较大影响,熔深随着束斑增大有减小趋势,熔宽则在一定束斑直径下有最大值。同时发现优化电子束电流分布是获得特定熔池尺寸的有效方法。
- 王雪松田修波孔营许建平巩春志
- 关键词:温度场数值模拟
- 一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法
- 一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法,它涉及一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法。本发明的目的是为了解决现有多弧工艺中加入TMS后,弧靶很容易中毒,导致放电不稳定、偏流降低,膜层质量不好的问题,本发明以氮气和...
- 田修波孔营巩春志吴厚朴田钦文
- 文献传递
- 热丝增强等离子体氮化对316L奥氏体不锈钢表面CrNx涂层结构与性能的影响
- 在真空室中安装热丝作为电子发射源可增强气体离化率并提高等离子体密度,进而提高渗氮与涂层沉积速率。本文采用磁控溅射技术在热丝增强等离子体氮化处理的316L奥氏体不锈钢基体表面上沉积了 CrNx涂层,并通过扫描电镜、X射线衍...
- 张鑫孔营巩春志田修波
- 关键词:氮化