任刚
- 作品数：33 被引量：36H指数：4
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 感应耦合等离子体刻蚀InP/InGaAsP二维光子晶体结构的研究被引量：7
- 2007年
- 为实现基于InP/InGaAsP材料的二维光子晶体结构低损伤、高各向异性的干法刻蚀,研究了对InP材料基于Cl2/BCl3气体的感应耦合等离子体刻蚀.从等离子体轰击使衬底升温的角度分析了刻蚀机理,发现离子轰击加热引起的侧蚀与物理溅射在侧壁再沉积之间处于平衡时可以得到高各向异性刻蚀,平衡点将随ICP功率增高而向偏压减小方向移动,从而在近203V偏压下得到陡直的侧壁.在优化气体组分后,成功实现了光子晶体结构高各向异性的低偏压刻蚀.
- 马小涛郑婉华任刚樊中朝陈良惠
- 关键词：光子晶体感应耦合等离子体
- 先进半导体光子晶体激光器技术研究
- 郑婉华陈良惠渠红伟张冶金王宇飞刘安金任刚江斌冯志刚刘磊
- 该成果属于新材料和信息光电子领域。主要创新点有：1.率先开发出多种光学泵浦光子晶体微腔激光器，激光振荡模式在百纳米量级，比传统激光器的模式尺寸小3到6个量级。2.提出新型集成透镜型电注入光子晶体面发射激光器，发散角低至3...
- 关键词：
- 关键词：半导体激光器光子晶体激光器
- 一种双色量子阱红外探测器顶部光栅的设计及优化
- 本文采用三维时域有限差分算法(3D-FDTD)对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器(QWIP)的顶部光栅结构的光场分布进行了仿真分析,得到了多种不同周期、占空比、深度的二维光子晶体结构耦合效率及电磁场分布.设计了一种...
- 王科郑婉华马小涛任刚杜晓宇邢名欣陈良惠
- 关键词：红外探测器光子晶体
- 文献传递
- 采用光子晶体微腔和晶片键合技术实现电注入的单光子源
- 本发明公开了一种采用光子晶体微腔和晶片键合技术实现电注入的单光子源，该单光子源由下至上依次由下电极、n型衬底、下DBR、光子晶体微腔、上DBR、p型接触层和上电极构成。其中，该单光子源的光子晶体微腔是半导体量子点光子晶体...
- 郑婉华刘安金任刚邢名欣渠宏伟陈良惠
- 文献传递
- 光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器
- 本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，由制作于半导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个部分，左边部分为慢光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构，该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周...
- 郑婉华邢名欣任刚刘安金陈微周文君陈良惠
- 文献传递
- 光子晶体环形腔的模式分析
- ＜正＞回音壁模式是圆形介电材料光学微腔中光波被边界处连续全内反射而形成的一种光场模式,这种 WG 模式具有极高的品质因子和极小的模式体积,同时,这种光学微腔制备相对简单,因此在光子学和光子集成方面的研究中引起极大关注。众...
- 邢名欣郑婉华张冶金任刚杜晓宇王科陈良惠
- 关键词：光子晶体环形腔滤波器
- 文献传递
- 基于InGaAsP/InP材料的二维半导体光子晶体激光器
- 2006年
- 描述了基于InGaAsP/InP材料的二维半导体光子晶体激光器的研究。主要介绍点缺陷型光子晶体激光器的理论设计、模拟分析及与器件性能的比较。理论上采用平面波展开法和有限时域查分法,预言了通过采用调整点缺陷腔的最近临空气孔的尺寸,可以提高缺陷腔的品质因子Q,从而提高激光器的工作性能,激光器的激射阂值;研制了不同近邻孔径尺寸的激光器,试验结果与理论模拟相一致。
- 郑婉华任刚蔡向华马小涛杜晓宇王科邢名欣陈良惠
- 关键词：二维光子晶体INGAASP/INP半导体材料
- 慢光在光子晶体弯折波导中的高透射传播被引量：5
- 2008年
- 研究了慢光模式在SOI(silicon-on-insulator)材料光子晶体线缺陷弯折波导中的传输特性.通过优化波导弯折处的结构参数,慢光模式在光子晶体60°与120°弯折波导中的透射率提高10倍以上,归一化透射率分别达到80%和60%以上.为了进一步减慢光速,设计了新颖的高Q值耦合腔弯折波导结构,在归一化透射率达到75%的基础上,光波群速度低至c/170(c为真空光速).研究结果对于增强光子晶体的慢光效应,提高光子晶体慢光器件的微型化和集成化都有一定的积极意义.
- 杜晓宇郑婉华张冶金任刚王科邢名欣陈良惠
- 关键词：光子晶体慢光透射率
- 双色红外量子阱探测器顶部的光子晶体光栅
- 本发明涉及半导体光电子器件技术领域，公开了一种双色红外量子阱探测器顶部的光子晶体光栅，该光子晶体光栅包括一二维光子晶体结构和一金属盖层；其中，所述二维光子晶体结构采用在双色半导体量子阱探测器顶部半导体材料上刻蚀的圆形孔或...
- 郑婉华王科任刚杜晓宇邢名欣陈良惠
- 文献传递
- 单偶极模光子晶体激光器的研究
- ＜正＞半个世纪前,激光的发明,将人类带入光通信、光存储、光显示的高科技文明中,随着高科技的不断发展进步,应用范围的不断扩大,对激光的要求更高,比如低阈值、高效率、高亮度、高速、小体积、好的模式特性等,这些要求在现有的传统...
- 郑婉华邢名欣任刚杜晓宇王科张冶金陈良惠
- 关键词：光子晶体环形腔滤波器
- 文献传递
