陈耘辉
- 作品数：10 被引量：15H指数：2
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程经济管理动力工程及工程热物理更多>>
- 太赫兹波发射晶体的亚波长微棱锥增透结构的设计与实验研究被引量：1
- 2013年
- 光学整流方法产生太赫兹(THz)辐射常用的非线性发射晶体在THz波段都具有较高的折射率,使得很大一部分THz波由于晶体表面的菲涅尔反射而无法有效耦合输出.本文报道了GaP晶体THz波发射器输出表面上亚波长微棱锥增透结构的设计和实验研究.利用有效介质模型在理论上验证了亚波长光栅结构的增透效果,并进一步设计了适用于不同频段的增透结构的参数.实验中,通过微机械加工手段在GaP晶体输出端面刻划了多种亚波长微棱锥结构,验证了其增透效果及参数对增透频带的关系.理论与实验的符合证明该设计思想也可用于其他THz波发射晶体.
- 胡晓堃李江李贤陈耘辉栗岩锋柴路王清月
- 关键词：THZ波光学整流微加工
- 粒子束辅助单晶脆性材料超精密加工方法
- 本发明属于利用表面改性进行超精密切削加工的新技术，具体讲涉及质子束辅助脆性材料超精密加工方法。本发明一种基于质子束照射靶材表面改性辅助加工的超精密加工技术，能显著提高超精密加工脆性材料的加工精度和表面粗糙度，大幅度降低刀...
- 房丰洲陈耘辉徐宗伟仇中军张效栋代腾飞胡小唐
- 文献传递
- 粒子束辅助单晶脆性材料超精密加工方法
- 本发明属于利用表面改性进行超精密切削加工的新技术，具体讲涉及质子束辅助脆性材料超精密加工方法。本发明一种基于质子束照射靶材表面改性辅助加工的超精密加工技术，能显著提高超精密加工脆性材料的加工精度和表面粗糙度，大幅度降低刀...
- 房丰洲陈耘辉徐宗伟仇中军张效栋代腾飞胡小唐
- 文献传递
- 纳米管探针机械性能在纳米表征中的优势研究被引量：4
- 2009年
- 碳纳米管探针是原子力显微镜新一代探针,在纳米表征领域有重要的应用价值。本文系统的研究了碳纳米管原子力显微镜探针和普通硅探针的机械性能对探针表征能力的影响。通过对比两种探针的耐磨损实验及对小鼠IgG蛋白成像研究发现,碳纳米管探针具有良好的弹性弯曲能力,耐磨损,而且能显著减小成像时对柔软的生物样品的损伤。发现纳米管探针具有很好的塑性,利用聚焦离子束的照射可以精确优化纳米管探针的角度,解决了碳纳米管探针角度精确调控的技术瓶颈,充分发挥纳米管探针的高分辨率优势。
- 徐宗伟张少婧房丰洲董申陈耘辉
- 关键词：原子力显微镜柔韧性角度控制聚焦离子束
- 基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究被引量：8
- 2009年
- 提出了聚焦离子束注入(focused ion beam implantation,FIBI)和聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(gas assisted etching,GAE)相结合的微纳加工技术。通过扫描电镜观察FIBI横截面研究了聚焦离子束加工参数与离子注入深度的关系。当镓离子剂量大于1.4×1017ion/cm2时,聚焦离子束注入层中观察到均匀分布、直径10～15nm的纳米颗粒层。以此作为XeF2气体反应的掩膜,利用聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(FIB-GAE)技术实现了多种微纳米级结构和器件加工,如纳米光栅、纳米电极和微正弦结构等。结果表明该方法灵活高效,很有发展前途。
- 徐宗伟房丰洲张少婧陈耘辉
- 关键词：离子注入
- 纳米切削中水的物理作用的分子动力学仿真
- 2014年
- 为了减少刀具磨损、提高工件表面完整性,借助分子动力学仿真对金刚石纳米级切削单晶铜进行了深入研究,比较了干切和加水切削时的晶格变形、切削力和热耗散,探讨了水基切削液和断续切削对刀具磨损和表面质量的影响.结果表明:水分子能够有效将刀具表面和被切材料分隔开,但是由于刀尖处接触压力极高、水膜易被穿透致使刀尖与铜原子直接作用,因此黏着现象无法完全避免.加水切削有利于减小摩擦力并降低刀具表面热量,工件已加工表面完整性得到提高,而断续切削有利于水膜的保持并充分发挥其冷却润滑作用.
- 李占杰房丰洲宫虎陈耘辉仇中军宋乐
- 关键词：分子动力学切削液磨损
- 离子注入表面改性超精密加工机理及工艺的研究
- 脆性光学材料应用广泛，常见的有单晶硅、单晶锗、磷化镓(GaP)、铌酸锂(LiNbO3)、碳化硅(SiC)等。这类材料脆性大、断裂强度和屈服强度比较接近。对其加工时，加工表面易产生裂纹和凹坑等缺陷。人们在过去一直沿用传统的...
- 陈耘辉
- 关键词：光整加工离子注入表面改性
- 实现太赫兹波高透射率的微结构超精密加工技术
- 2014年
- 为针对提高太赫兹波透射率的需求,开展基于离子注入表面改性的脆性材料微结构超精密加工技术的研究,并将其应用于太赫兹波产生用磷化镓微棱锥结构的应用中。通过蒙特卡洛模拟指导注入参数,对比脆塑转变深度验证机械加工效果,成功加工出符合应用要求的微结构。通过光学测试,该方法能够有效提高加工效率,改善加工质量,实现对脆性光学材料的一次成型加工。
- 陈耘辉房丰洲栗岩锋王清月胡小唐
- 关键词：超精密加工飞刀磷化镓太赫兹波
- 光学自由曲面纳米加工理论及方法
- 房丰洲胡小唐张效栋徐宗伟宫虎仇中军朱朋哲宋乐陈耘辉赖敏李占杰兀伟
- 该项目属于光学制造领域.针对国民经济高速发展对于光学复杂关键件和功能器件的巨大需求，深入开展光学自由曲面制造的基础理论及关键技术研究.提出纳米切削过程中材料的推挤变形去除机理，有效地解释了纳米级加工表面形成原因;研究了材...
- 关键词：
- 关键词：纳米材料
