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TiN/TiB_2异结构纳米多层膜的共格生长与力学性能被引量：10: 2005年; 采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同TiB2调制层厚度的TiN/TiB2纳米多层膜.利用x射线衍射仪、高分辨电子显微镜和微力学探针研究了TiB2层厚变化对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明,在fcc-TiN层(111)生长面的模板作用下,原为非晶态的TiB2层在厚度小于2·9nm时形成hcp晶体态,并与fcc-TiN形成共格外延生长;其界面共格关系为{111}TiN//{0001}TiB2,〈110〉TiN//〈1120〉TiB2.由于共格界面存在晶格失配度,多层膜中形成拉、压交变的应力场,导致多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应,最高硬度和弹性模量分别达到46·9GPa和465GPa.继续增加TiB2层的厚度,TiB2形成非晶态并破坏了与TiN层的共格外延生长,多层膜形成非晶TiN层和非晶TiB2层交替的调制结构,其硬度和弹性模量相应降低.; 魏仑梅芳华邵楠董云杉李戈扬; 关键词：力学性能纳米多层膜 TIB2 TIN 异结构

反应溅射TiC薄膜的微结构及力学性能被引量：7: 2003年; 采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜 ,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构 ,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量 ,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌 ,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响。结果表明 ,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响 :低的甲烷分压下 ,制备的薄膜样品中有钛相的存在 ,薄膜的硬度和弹性模量较低 ;甲烷分压提高 0 .0 2～0 .0 4Pa左右 ,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC ,并获得最高的硬度 ( 3 0 .9GPa)和弹性模量 ( 3 43GPa) ;进一步提高甲烷分压 ,薄膜呈现非晶态。; 邵楠梅芳华董云杉李戈扬; 关键词：微结构力学性能

支持H.264和AVS的运动补偿模块的研究与设计: 目前,视频图像压缩处理技术被广泛应用在如下领域:数字电视、视频会议、监控系统、远程教育、远程诊断等,这些应用对压缩数据的计算、传输以及存储都提出了相当高的要求;并且,视频标准具有多样化的特征,不同的编码标准应当尽量在各个...; 邵楠; 关键词：数字音视频编解码技术标准软硬件协同设计可重构; 文献传递

力学探针及其在薄膜力学性能测量上的应用被引量：4: 2002年; 力学探针是近年来发展的一种先进的微区力学性能测试方法。本文介绍了力学探针的工作原理 ,以及采用力学探针技术准确测量薄膜力学性能的两步压入法。; 邵楠李戈扬; 关键词：弹性模量微区分析

反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能被引量：4: 2004年; 采用Ar、N2 和SiH4混合气体反应溅射制备了一系列不同Si含量的Ti Si N复合膜 ,用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了复合膜的微结构和力学性能。结果表明 ,通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Ti Si N复合膜。当Si含量为 (4～ 9)at%时 ,复合膜得到强化 ,最高硬度和弹性模量分别为 34 2GPa和 398GPa。进一步增加Si含量 ,复合膜的力学性能逐步降低。微结构研究发现 ,高硬度的Ti Si N复合膜呈现Si3 N4界面相分隔TiN纳米晶的微结构特征 ,其中TiN纳米晶的直径约为 2 0nm ,Si3 N4界面相的厚度小于 1nm。; 梅芳华邵楠胡晓萍李戈扬顾明元; 关键词：SI3N4 力学性能反应溅射微结构界面相

氮分压对反应溅射(Ti,Al)N薄膜微结构与力学性能的影响被引量：2: 2005年; 采用Ti Al复合靶在不同氮分压下制备了一系列 (Ti,Al)N薄膜 ,用EDS、XRD、TEM和微力学探针表征了薄膜的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能。结果表明 ,氮分压对 (Ti,Al)N薄膜影响显著 :合适的氮分压可以得到化学计量比的(Ti,Al)N薄膜 ,薄膜为单相组织 ,并呈现 (111)择优取向 ,最高硬度和弹性模量分别达到 34.4GPa和 392GPa ;过低的氮分压不但会造成薄膜贫氮 ,而且薄膜中的Al含量偏低 ,硬度不高 ;过高的氮分压下 ,由于存在”靶中毒”现象 ,尽管薄膜的成分无明显变化 ,但会大大降低其沉积速率 ,并使薄膜形成纳米晶或非晶态结构 ,薄膜的硬度也较低。; 梅芳华邵楠魏仑李戈扬; 关键词：(TI,AL)N 相组织 EDS 反应溅射微结构

基于AVS运动补偿的运动矢量计算装置的硬件实现方法: 一种基于AVS运动补偿的运动矢量计算装置的硬件实现方法，属于数字视频编解码技术领域。方法为：预解码；顶层计数：将一个宏块划分为4个8×8的子块，并对这4个子块进行编号，依据当前宏块的划分方式，采用计数模块对当前解码的8×...; 邵楠刘佩林; 文献传递

纳米多层膜中的非晶晶化与超硬效应: 本文主要论述纳米多层膜中的非晶晶化与超硬效应，纳米多层膜非晶晶化是指在纳米多层膜中由于某一层晶体生长的模板作用使另一原为非晶相的膜层晶化，并通常伴随着硬度的异常增高。结合这些热点领域，本文利用磁控溅射法制备了一系列的纳米...; 邵楠; 关键词：纳米多层膜非晶晶化超硬效应磁控溅射法; 文献传递

SiO_2层晶化对TiN/SiO_2纳米多层膜结构和性能的影响被引量：3: 2005年; 采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同SiO2调制层厚的TiN/SiO2纳米多层膜.利用X射线衍射,X射线能量色散谱、扫描电子显微镜、高分辨电子显微镜和微力学探针表征和研究了多层膜的生长结构和力学性能.结果表明,具有适当厚度(0.45-0.9nm)的SiO2调制层,在溅射条件下通常为非晶态,在TiN层的模板作用下晶化并与TiN层共格外延生长,形成具有强烈(111)织构的超晶格柱状晶多层膜;与此相应,纳米多层膜产生了硬度和弹性模量异常增高的超硬效应(最高硬度达45GPa).随着SiO2层厚度的继续增加,SiO2层转变为非晶态,阻断了多层膜的共格外延生长,使纳米多层膜形成非晶SiO2层和纳米晶TiN层的多层结构,多层膜的硬度和弹性模量逐渐下降.; 魏仑邵楠梅芳华李戈扬; 关键词：无机非金属材料非晶晶化超硬效应

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邵楠