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胡莹璐

作品数：36 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十一研究所更多>>
相关领域：理学交通运输工程电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 35篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇理学

主题

  • 18篇电路
  • 11篇基片
  • 9篇光刻
  • 8篇薄膜电路
  • 7篇掩膜
  • 7篇掩膜版
  • 6篇电路图形
  • 6篇金属化
  • 5篇电镀
  • 5篇金属化孔
  • 5篇光刻胶
  • 4篇真空吸盘
  • 4篇切缝
  • 4篇金属
  • 4篇划片
  • 4篇划片机
  • 4篇集成电路
  • 4篇夹具
  • 4篇瓷片
  • 3篇镀层

机构

  • 36篇中国电子科技...

作者

  • 36篇胡莹璐
  • 36篇王斌
  • 26篇宋振国
  • 26篇路波
  • 23篇曹乾涛
  • 11篇孙建华
  • 7篇邓建钦
  • 6篇赵秉玉
  • 3篇宋志明
  • 2篇孙立
  • 2篇龙江华
  • 2篇李平
  • 1篇李红伟
  • 1篇王进

年份

  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 6篇2017
  • 11篇2016
  • 5篇2015
  • 7篇2014
  • 3篇2013
共 36 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于掩膜电镀的薄膜电路划切方法
本发明公开了一种基于掩膜电镀的薄膜电路划切方法，通过在准备好的基板上形成淀积层并制作出薄膜电路图形，然后制作好用于保护切缝的掩膜版，在基板的淀积层上形成用于保护切缝的掩膜，并利用掩膜电镀工艺加厚薄膜电路图形，去除掩膜留出...
胡莹璐路波王斌宋振国宋志明
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微波电路用薄膜电阻调节装置及其调节方法
本发明涉及一种微波电路用薄膜电阻调节装置及调节方法。本发明涉及半导体加工技术领域。该装置包括电源、与电源并联的电压表、电流表、电阻表、第一平衡电阻、第二平衡电阻、第一探针、第二探针和第三探针；电流表分别与电源负极和第一探...
王斌胡莹璐宋振国曹乾涛
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超薄石英基片上光刻刻蚀薄膜电路图形的方法
本发明提供一种用于超薄石英基片上光刻刻蚀薄膜电路图形的方法，通过使用紫外敏感正性光刻胶作为粘结剂将超薄石英基片与承载基片抛光面粘接形成临时键合体，然后在超薄石英基片上表面进行薄膜电路图形的光刻和刻蚀。采用上述方案，工艺简...
曹乾涛路波王斌宋振国胡莹璐孙建华龙江华邓建钦
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薄膜电路金属化孔内光刻胶的曝光方法及基片承载装置
本发明公开了一种薄膜电路金属化孔内光刻胶的曝光方法及基片承载装置，该曝光装置，包括：底座、调节板、电机和承片台，调节板通过转轴固定在底座上，电机固定在调节板的下方，承片台固定在电机的转轴上，并位于所述调节板的上方。所述曝...
宋振国路波王斌胡莹璐曹乾涛赵秉玉赵海轮
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一种生瓷片去膜装置及方法
本发明公开了一种生瓷片去膜装置及方法。所述装置包括真空吸盘、流体控制阀和真空发生装置；在真空吸盘的下表面下方设有一个与所述真空吸盘的下表面连通的密封腔体；该密封腔体通过管路与流体控制阀连接，流体控制阀通过管路与真空发生装...
宋振国王斌胡莹璐桑锦正付延新赵秉玉路波
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一种混合集成电路及其制造方法
本发明公开了一种混合集成电路，包括电路载体、电路基片、MMIC芯片与金属丝，在电路基片上开设有盲槽，MMIC芯片装配在盲槽内，电路基片与MMIC芯片之间采用金属丝键合互联，电路基片采用导电性环氧树脂胶粘接或钎焊焊料焊接到...
王斌路波胡莹璐
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一种生瓷片去膜装置及方法
本发明公开了一种生瓷片去膜装置及方法。所述装置包括真空吸盘、流体控制阀和真空发生装置；在真空吸盘的下表面下方设有一个与所述真空吸盘的下表面连通的密封腔体；该密封腔体通过管路与流体控制阀连接，流体控制阀通过管路与真空发生装...
宋振国王斌胡莹璐桑锦正付延新赵秉玉路波
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一种基板填充孔的整平装置及方法
本发明公开了一种基板填充孔的整平装置及方法。所述装置包括刀片、刀片夹具、真空吸盘和抽真空装置；刀片夹具前部具有一倾斜安装面，刀片安装在该倾斜安装面上；真空吸盘用于放置基板，抽真空装置用于提供真空吸盘吸附基板时所需要的吸力...
付延新王斌宋振国胡莹璐桑锦正
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一种基片电镀夹具
本发明提供一种基片电镀夹具，包括若干凹槽、金属弹片、中间导电层；所述若干凹槽的周围设置有导电通孔，用于与中间导电层相连接；所述导电通孔上还设置有金属弹片；所述中间导电层相互连接后形成一终端，在所述终端上设置有导电通孔，用...
宋振国路波王斌胡莹璐曹乾涛
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一种在基片上制作实心金属化孔的方法
本发明公开了一种在基片上制作实心金属化孔的方法，属于微波技术领域，本发明通过在基片上加工通孔；在基片的一面溅射多层金属薄膜；在多层金属薄膜的表面喷涂光刻胶；通过曝光、显影去除通孔的内壁上的光刻胶；将基片浸入电镀溶液并去除...
宋振国胡莹璐王斌路波
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