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李凡

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院更多>>
发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇紫外
  • 1篇紫外激光
  • 1篇激光
  • 1篇激光源
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术
  • 1篇光源
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工业

机构

  • 1篇广东工业大学

作者

  • 1篇李凡
  • 1篇雷亮
  • 1篇冉坐
  • 1篇林清华
  • 1篇周金运

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
应用于光刻领域中的固态紫外激光源的制作被引量：1
2012年
以半导体侧泵钇铝石榴石激光器为泵浦源,采用腔内泵浦两块三硼酸铯晶体,产生满足高功率与高光束质量要求的三倍频355nm紫外激光.通过使用法拉第旋转器谐振腔优化设计与热效应补偿提高输出光的光束质量,并且使用体光栅作为输出镜,在实现线宽窄化同时保持准相位匹配的高效性能.该光刻用紫外激光源成功地替代准分子激光器,使用在一套大面积亚纳米级投影式光刻系统上,工作时紫外光输出功率为4.37W,光束质量因子为2.27.
雷亮李凡林清华周金运冉坐
关键词：半导体工业光刻技术紫外激光
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