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徐永勋
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
山东大学信息科学与工程学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李惠军
山东大学信息科学与工程学院
李静
山东大学信息科学与工程学院
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2003
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Taurus Workbench虚拟IC芯片加工系统
2003年
介绍了被业界称之为“虚拟集成电路芯片加工厂”的TCAD集成化仿真系统TaurusWorkbench(TWB)及其优化机制。
徐永勋
李静
李惠军
关键词:
计算机辅助设计
IC芯片
集成电路
虚拟化
深亚微米集成工艺仿真系统TSUPREM-4的功能及应用
2003年
介绍了TSUPREM-4集成电路工艺仿真系统的主要仿真功能及系统的深亚微米模型。以LDD结构的NMOS器件为例进行了二维工艺仿真,得到了NMOS器件的二维剖面结构、杂质浓度的等值分布描述以及相应的电学特性。
李惠军
徐永勋
关键词:
仿真系统
NMOS器件
深亚微米
计算机辅助设计
基于TWB-TCAD下的亚微米nMOS小尺寸效应的抑制方案优化研究
首先,分析了集成电路虚拟制造技术,对传统的集成电路制造系统和集成电路虚拟制造系统确定最佳工艺条件的方法进行了对比.介绍了集成电路制造工艺仿真系统TSUPREM-4和半导体器件物理特性仿真系统Medici的仿真功能,分析了...
徐永勋
关键词:
虚拟制造
亚微米器件
文献传递
基于Taurus Workbench的亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化
被引量:1
2003年
简要介绍了集成电路虚拟工厂系统TaurusWorkbench。对亚微米n沟MOS工艺的特点进行了分析。在TaurusWorkbench环境下进行亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化,优化结果印证了新工艺条件对器件性能的改善。
徐永勋
李惠军
关键词:
亚微米器件
MOS工艺
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