张竹林
- 作品数：10 被引量：2H指数：1
- 供职机构：淮南工业学院数理系更多>>
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- 溅射理论中的硬球模型
- 2000年
- 作者分别用 Sigmund理论和硬球模型求解了溅射输运方程 ,证明了硬球模型的优越性 ,从而大大地扩展了 Sigmund理论的适用范围 (E>10 E0 )。用硬球模型求得了输运方程的一些严格解 ,在单元靶解析解的基础上 ,说明了 L=0、1渐近解的正确性。在双元靶严格解的基础上 。
- 张竹林
- 关键词：溅射硬球模型严格解
- 溅射的输运理论Ⅰ:溅射原子的出射深度
- ＜正＞众所周知,溅射现象在薄膜和表面材料合成、加工制备技术和工艺,以及微电子、微机械技术等方面有着十分广泛而重要的应用.现代溅射理论是由丹麦著名理论家P.sigmund教授于1969年建立的.这个理论成功地解释了大量的溅...
- 张竹林
- 文献传递
- 多组分介质的向前和向后Boltzmann方程等效性
- 2000年
- 推广了 Sigmund所引入的传播子函数理论 ,并以其为工具 ,简单明晰地证明了多组分介质向前和向后 Boltzmann方程的等效性。
- 张竹林
- 关键词：BOLTZMANN方程多组分等效性
- 溅射输运理论中的经典散射截面被引量：1
- 2002年
- 利用溅射理论中常用的Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别。计算表明 ,对于Born -Mayer相互作用势碰撞散射 ,双幂截面可以给出比单幂截面好得多的描述。特别对于UrbassekKr-C相互作用势 ,只有利用双幂截面求解输运方程才能计算出反冲密度函数比较好的近似值。
- 张竹林
- 关键词：散射截面
- 多元靶碰撞级联中的粒子通量被引量：1
- 2002年
- 用一种推广的幂指数散射截面求解了溅射输运方程 ,获得更加一般的渐近解。这个渐近解不但以 Urbassek等人几年前所给出的两个解为其特殊情况 ,而且还为作者提出的 SC解提供了新的证据。此外通过计算并分析了Vicanek等人发表的新的输运理论 ,发现他们所提出的转换理论结果与 Monte
- 张竹林
- 关键词：粒子通量
- 应用双幂指数散射截面计算离子射程分布
- 2000年
- 应用作者本人最近提出的双幂指数散射截面求解了离子射程分布输运方程.尽管当ｍ＝０．２时单、双幂指数两种散射截面相差甚大，但只要利用一适当长度单位，两种截面所给出的分布函数却相差很小．另外，采用了Ｐａｄｅ＇逼近重新组合射程分布函数，计算精度都达到１０－8以上．
- 张竹林
- 溅射输运理论中的经典散射截面
- 2001年
- 利用溅射理论中常用的 Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了 Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别。分析表明 ,对于 Born- Mayer相互作用势碰撞散射 ,双幂截面可以给出比单幂截面好得多的描述。特别对于 Urbassek的 Kr- C相互作用势 。
- 张竹林
- 关键词：溅射散射截面
- 溅射稳定态合金靶表面的化学成分
- 2001年
- 基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学成分 ,计算结果与实验值一致。因为文中所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析。
- 张竹林张秉楚
- 关键词：化学成分
- 双幂指数散射截面在离子射程分布计算中的应用
- 2000年
- 应用双幂指数散射截面求解输运方程 ,推导出离子射程分布函数矩的递推公式 ,表明双幂指数截面与传统的单幂截面一样 ,可以用来求解输运方程 .此外 ,采用 Padé逼近 ,由分布函数的矩成功地组合了分布函数 ,计算精度都达到 1 0 -8以上 ,这说明 ,在由矩组合分布函数的计算方面 ,Padé逼近可能是最佳的运算工具 .通过大量的计算发现 ,当入射离子能量比较低时 (几百电子伏特 ) ,离子注入深度要比用传统单幂截面所计算的值浅一些 ,分布范围也窄一些 ,这与作者对溅射原子出射深度以及 Frenkel-对产生计算所得的结论相符 .但当选择特征长度为深度单位时 ,用单、双截面计算的无量纲归一化离子射程分布函数相当符合 。
- 张竹林
- 关键词：离子注入PADE逼近
- 多元靶溅射的暂态过程理论
- 2000年
- 发展了J M Mayer等人建立的两元靶溅射的暂态理论 ,清晰地给出了描述因离子束轰击诱导多元靶表面化学成分随离子通量变化的公式 .根据稳定态时化学成分的改变 ,可以推算出靶中任意两元素表面结合能之比 .利用Schiott理论 ,可以计算多元靶中的离子射程 ,从而可以很简单地求出多元靶表面化学成分随轰击离子通量的动态变化过程 ,亦即暂态过程 .作为例子 ,作者计算了某些真实的两元和三元合金靶的暂态过程 ,结果显示出计算曲线和实验曲线符合得很好 .
- 张秉楚张竹林
- 关键词：离子能量暂态过程
