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张禹
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
南京大学化学化工学院生命分析化学教育部重点实验室
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发文基金:
国家教育部博士点基金
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相关领域:
理学
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合作作者
宋焱焱
南京大学化学化工学院生命分析化...
夏兴华
南京大学化学化工学院生命分析化...
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南京大学
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张禹
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夏兴华
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宋焱焱
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化学学报
年份
1篇
2004
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碱性水溶液中甲醛在硅电极表面的电化学行为及其对硅化学刻蚀的影响
被引量:3
2004年
研究了KOH水溶液中氧化剂甲醛在p Si和n Si( 10 0 )单晶半导体电极表面的电化学行为及其对硅化学刻蚀表面形貌的影响 .实验结果表明 ,甲醛不仅影响p 和n 型半导体电极在碱性溶液中的阳极氧化峰电流 ,而且在负电位区能在Si( 10 0 )电极上发生还原 .在光照条件下 ,p Si( 10 0 )电极上也观测到了HCHO的电化学还原及光电流倍增效应 .甲醛在硅电极表面的电化学还原反应分两步进行 ,反应终产物为甲醇 .此外 ,HCHO能有效抑制碱性溶液中Si表面“金字塔”型表面粗糙颗粒的形成 .
宋焱焱
张禹
夏兴华
关键词:
甲醛
电化学
表面形貌
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