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张涛

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：山东工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇像差
  • 2篇CAD
  • 1篇电磁
  • 1篇电磁场
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子学
  • 1篇数值解
  • 1篇数值解法
  • 1篇解法
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机辅助分...
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇光电子学
  • 1篇磁场

机构

  • 2篇山东工业大学

作者

  • 2篇张涛
  • 2篇杨立才

传媒

  • 1篇电子学报
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1993
  • 1篇1991
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电磁复合场中电子成像系统的计算机辅助分析被引量：1
1991年
本文利用数值仿真技术对复合场中电子成像系统的像差理论做了研究。基于一种新的计算方法编写了一套完整的像差计算程序,由此可求得任意初始条件下复合场中电子成像系统的三级几何像差。其计算精度可比传统软件的提高四倍以上,为高精度电子光路的设计提供了可靠的理论工具。
杨立才张涛裘培勇
关键词：电磁场CAD像差
电磁复合场三级几何像差方程的一种数值解法被引量：1
1993年
本文提出了利用函数逼近的数值迭代方法精确求解电磁复合场中电子成像系统三级几何像差方程式的概念,避免了传统电子光学近似计算造成的附加误差,提高了像差计算的精度,为高精度电子光学设计提供了可信的依据。
杨立才张涛裘培勇
关键词：像差电子束曝光CAD光电子学
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共1页<1>
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