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张敏

作品数：27 被引量：10H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第十一研究所更多>>
相关领域：电子电信文化科学交通运输工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 6篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 21篇探测器
  • 16篇红外
  • 11篇焦平面
  • 9篇碲镉汞
  • 8篇探测器芯片
  • 8篇光刻
  • 8篇红外焦平面
  • 8篇红外探测
  • 8篇红外探测器
  • 7篇焦平面探测器
  • 7篇光刻胶
  • 5篇铟柱
  • 5篇红外焦平面探...
  • 4篇电路
  • 4篇读出电路
  • 4篇刻蚀
  • 4篇刻蚀工艺
  • 4篇基板
  • 3篇凝视
  • 3篇面阵

机构

  • 27篇中国电子科技...

作者

  • 27篇张敏
  • 11篇宁提
  • 7篇孙浩
  • 7篇刘明
  • 7篇谭振
  • 6篇谢珩
  • 4篇诸子玲
  • 4篇王成刚
  • 4篇韦书领
  • 4篇钱亚男
  • 3篇周立庆
  • 3篇陈慧卿
  • 2篇张鹏
  • 2篇王宪谋
  • 2篇朱西安
  • 2篇梁宗久
  • 2篇王亮
  • 1篇王骏
  • 1篇付志凯

传媒

  • 1篇激光与红外

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 7篇2019
  • 5篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 27 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
小间距红外探测器串音测试用透光微孔结构及其制备方法
本发明公开了一种小间距红外探测器串音测试用透光微孔结构，包括：红外焦平面混成芯片和抗红外辐射膜层；红外焦平面混成芯片的上表面设置有抗红外辐射膜层，其中，抗红外辐射膜层开有多个透光微孔，透光微孔与红外焦平面混成芯片中的光敏...
张敏王亮宁提张轶
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一种红外焦平面探测器基板及其制造方法
本发明提供的红外焦平面探测器基板及其制造方法，方法包括：将预定尺寸的基板以预定溅射方式进行金属沉积，再以预设涂胶方法在基板表面涂光刻胶，在将光刻胶加热固化后，采用光刻对准工艺对基板进行曝光，使基板上需要进行刻蚀的金属部分...
张敏刘明钱亚男诸子玲
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一种碲镉汞材料低损伤混合型干法刻蚀方法
本发明涉及半导体领域，特别涉及一种碲镉汞材料低损伤混合型干法刻蚀方法。该方法包括：在电感耦合等离子体ICP的工艺腔室中，在设定的第一工艺环境下，采用设定的射频功率，对碲镉汞材料进行刻蚀，得到接触孔；在ICP的工艺腔室中，...
陈慧卿谭振张敏宁提
红外双色碲镉汞探测器台面钝化方法
本发明公开了一种红外双色碲镉汞探测器台面钝化方法，包括：步骤A：对双色碲镉汞探测器的芯片台面裸露的碲镉汞进行腐蚀，消除物理损伤薄膜，去除表面硫化锌膜层；步骤B：利用磁控溅射设备对经过步骤A处理后的芯片台面进行钝化处理；本...
张敏孙浩王成刚朱西安
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一种读出电路铟球获取方法
本发明公开了一种读出电路铟球获取方法，该方法包括以下步骤：在读出电路上生长铟柱；配置成球液，并将成球液加热至预设温度，得到起球液；将带有铟柱的读出电路浸入起球液中保持预设时间，得到铟球。本发明通过将铟柱融化成球的方式大幅...
王骏谢珩张敏
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红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法
本发明公开了一种红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法，该方法包括：将探测器生长有铟柱的一侧涂覆光刻胶，并进行固化；在透明的宝石片衬底上均匀涂覆紫外固化粘接胶；将所述探测器没有涂光刻胶一侧放置在涂覆有紫外固化粘接胶的所述宝石...
王宪谋张敏谢珩
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焦平面探测器铟柱的光刻方法及装置
本发明公开了一种焦平面探测器铟柱的光刻方法及装置，该方法包括：在金属化处理后的探测器芯片上涂覆光刻胶；将涂覆完光刻胶的所述探测器芯片进行烘烤；将烘烤完的所述探测器芯片进行离焦光刻，得到显影后呈倒梯形的厚胶图形；将离焦光刻...
张敏诸子玲孙浩钱亚男
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超大规模凝视型红外探测器拼接基板及其制备方法
本发明公开了一种超大规模凝视型红外探测器拼接基板，包括：标准硅片、钝化膜层以及低阻金属层，其中，低阻金属层具体包括：对低阻金属层进行刻蚀形成的高精度拼接标记、导流结构以及一对低阻金属引线；钝化膜层设置于标准硅片上表面，一...
张敏亢喆韦书领刘明杨刚
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一种碲锌镉衬底、制备方法及其应用
本发明涉及光电技术领域，特别涉及一种碲锌镉衬底、制备方法及其应用。本发明提供的碲锌镉衬底，在所述碲锌镉衬底的任意一个表面上设有增透结构，所述增透结构为周期变化的图形，占空比小于0.8，周期小于6微米。表面设有增透结构的碲...
林国画陈慧卿张敏梁宗久宁提
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红外双色碲镉汞探测器台面钝化方法
本发明公开了一种红外双色碲镉汞探测器台面钝化方法，包括：步骤A：对双色碲镉汞探测器的芯片台面裸露的碲镉汞进行腐蚀，消除物理损伤薄膜，去除表面硫化锌膜层；步骤B：利用磁控溅射设备对经过步骤A处理后的芯片台面进行钝化处理；本...
张敏孙浩王成刚朱西安
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