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张和民

作品数:19 被引量:0H指数:0
供职机构:西北工业大学更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信医药卫生文化科学更多>>

文献类型

  • 16篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 3篇电子电信
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 9篇弱耦合
  • 9篇感器
  • 9篇传感
  • 9篇传感器
  • 7篇模态局部化
  • 6篇振幅
  • 6篇振幅比
  • 5篇加速度
  • 4篇推进器
  • 4篇线性化
  • 4篇谐振
  • 4篇模态
  • 4篇差分
  • 4篇差分检测
  • 3篇点火
  • 3篇速度传感器
  • 3篇谐振器
  • 3篇加速度传感器
  • 2篇电容传感器
  • 2篇动态信号

机构

  • 19篇西北工业大学

作者

  • 19篇张和民
  • 15篇常洪龙
  • 8篇杨晶
  • 6篇苑伟政
  • 6篇谢建兵
  • 5篇申强
  • 4篇郝永存
  • 2篇李小平
  • 2篇黄杰

传媒

  • 1篇机械工程学报
  • 1篇金属加工(冷...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 5篇2019
  • 2篇2018
  • 4篇2017
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 2篇2012
19 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于SOI硅片的微型半球谐振陀螺及其制备方法
本发明公开了一种基于SOI硅片的微型半球谐振陀螺及其制备方法,属于微/纳加工制造领域。该陀螺驱动电极16和敏感电极17通过内有半球空腔的结构硅体1被多条径向的结构硅槽14分割形成的独立硅块构成,其相对半球谐振子8的面积增...
谢建兵郝永存常洪龙张和民苑伟政
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微型固态化学推进器的制备方法
本发明涉及一种微型推进器的制作方法,属于微机电系统制造领域。该方法综合利用了金属铝薄膜工艺和金属剥离工艺,首先在硅片表面溅射金属铝,光刻,以铝为掩模DRIE得到燃烧室和喷嘴;再在玻璃片表面通过剥离工艺得到点火器,再通过剥...
苑伟政申强郝永存张和民谢建兵
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一种超高灵敏度的微机械谐振式静电计
本发明公开了一种超高灵敏度的微机械谐振式静电计的设计方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该方法包含静电计表头的机械结构设计方法和测试电路的设计方法。机械结构的设计相对于现有技术采用可动的谐振器电荷输入极板,提高静电力到...
常洪龙黄杰张和民李博洋杨晶
微型固体化学推进器
本发明公开了一种微型固体化学推进器,属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域。该采用硅片和耐热玻璃键合形成微型推进器,上层硅片1表面2内凹形成燃烧室4和喷嘴3;燃烧室4和喷嘴3连通处的喉部为曲率半径为R的圆弧;所述下层...
谢建兵申强李小平张和民常洪龙
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微型固体化学推进器推力测量装置
本发明公开了一种用于测量微化学推进器推力的测量装置。所述装置包括:主要包括支撑部件、力平衡天平、MEMS惯性测量组合7、电容传感器13、微型固体化学推进器10,信号与处理系统。本发明的特点在于:通过力平衡天平实现了消除推...
苑伟政申强张和民郝永存谢建兵
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第8届上银优秀机械博士论文奖——银奖 基于模态局部化的弱耦合谐振式加速度传感器敏感机理研究
2019年
高灵敏度微加速度传感器是惯性导航系统的核心器件,用于战略导弹及潜艇的无源惯性导航以保证其制导和定位精度,也可以为固体地球演化、海洋气候变化和地球物理勘探等国家重大基础研究提供重要的数据支撑。但是,传统的微加速度传感器受制于其检测原理与现有加工技术的限制而不能实现很高的灵敏度。因此,发现新的敏感机理成为了大幅提高微加速度传感器灵敏度水平的一个重要途径。
张和民苑伟政常洪龙
关键词:模态局部化加速度传感器谐振式弱耦合
一种弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法
本发明涉及一种基于模态局部化的弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该方法具体操作时包括如下步骤:步骤一:判断双谐振器为同相驱动或反相驱动状态,如为同相驱动,则选取一阶模态作为工作模态,...
常洪龙张和民钟纪明杨晶
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微型固体化学推进器
本发明公开了一种微型固体化学推进器,属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域。该采用硅片和耐热玻璃键合形成微型推进器,上层硅片1表面2内凹形成燃烧室4和喷嘴3;燃烧室4和喷嘴3连通处的喉部为曲率半径为R的圆弧;所述下层...
谢建兵申强李小平张和民常洪龙
基于模态局部化的弱耦合谐振式加速度传感器敏感机理研究
2019年
高灵敏度微加速度传感器是惯性导航系统的核心器件,用于战略导弹及潜艇的无源惯性导航以保证其制导和定位精度,也可以为固体地球演化、海洋气候变化和地球物理勘探等国家重大基础研究提供重要的数据支撑。但是,传统的微加速度传感器受制于其检测原理与现有加工技术的限制而不能实现很高的灵敏度。因此,发现新的敏感机理成为了大幅提高微加速度传感器灵敏度水平的一个重要途径。
张和民苑伟政常洪龙
关键词:加速度传感器谐振式模态局部化弱耦合
一种基于模态局部化效应的弱耦合MEMS谐振式加速度计
本发明公开了一种基于模态局部化效应的弱耦合MEMS谐振式加速度计,属于微机电系统(MEMS)领域。加速度计包括两个完全相同的可动质量块和两个通过机械耦合梁连接在一起的单梁谐振系统。本发明使用了单谐振梁的设计,大大减小了模...
常洪龙李博洋张和民钟纪明
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共2页<12>
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