夏劲松
- 作品数：10 被引量：9H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 各向异性腐蚀制备纳米硅尖被引量：5
- 2008年
- 采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖,研究了腐蚀溶液的浓度、添加剂异丙醇(IPA)对硅尖形状的影响。设计了硅尖制作的工艺流程,制备了形状不同、纵横比值为0.52～2.1的硅尖,并结合晶面相交模型,提出了硅尖晶面的判别方法,讨论了实验中出现的{411}和{331}晶面族两种硅尖晶面类型,实验结果和理论分析相一致。通过分析腐蚀溶液的质量分数和添加剂对{411}、{331}晶面族腐蚀速度的影响,得到了制备高纵横比纳米硅尖的工艺参数。实验结果表明:当正方形掩模边缘沿<110>晶向时,在78℃、质量分数40的KOH溶液中腐蚀硅尖,再经980℃干氧氧化3h进行锐化削尖,可制备出纵横比大于2、曲率半径达纳米量级的硅尖阵列。
- 石二磊崔岩夏劲松王立鼎
- 关键词：硅尖各向异性晶面掩模
- 一种硅探针的制作方法
- 本发明一种硅探针的制作方法属于测试技术领域，涉及到原子力显微镜探针的制作。采用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法制作探针，首先采用光刻法形成硅尖掩模，然后干法刻蚀梁至一定的深度，接着采用湿法同步腐蚀硅尖和梁，硅尖削尖后，从背...
- 崔岩石二磊夏劲松王立鼎
- 文献传递
- 一种新型压电微悬臂梁探针的设计与制作
- 为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用，设计、制作了一种压电微悬臂梁探针。采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖，采用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题。...
- 夏劲松崔岩赵佳欣王立鼎
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- 一种硅探针的制作方法
- 本发明一种硅探针的制作方法属于测试技术领域，涉及到原子力显微镜探针的制作。采用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法制作探针，首先采用光刻法形成硅尖掩模，然后干法刻蚀梁至一定的深度，接着采用湿法同步腐蚀硅尖和梁，硅尖削尖后，从背...
- 崔岩石二磊夏劲松王立鼎
- 文献传递
- PB1-XSRX(ZR0.53TI0.47)O3薄膜的制备及传感性能测试
- 本文制备了基于PB1-XSRX (ZR0.53TI0.47) O3（PSZT）薄膜的压电微悬臂梁。PSZT薄膜以PT/TI/SIO2/SI 为基底，通过溶胶-凝胶法和快速热处理工艺获得。根据XRD 衍射分析，研究了微量S...
- 赵佳欣张吕权夏劲松崔岩
- 关键词：XRD微悬臂梁
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- 一种压电微悬臂梁探针的制作方法
- 本发明公开了一种压电微悬臂梁探针的制作方法，属于微机械传感器与执行器领域技术领域。其特征在于采用局部压电层的方法实现了纳米硅针尖制作工艺与压电薄膜制作工艺的集成。制作过程中，纳米硅针尖采用有掩膜的各向异性湿法腐蚀方法，压...
- 崔岩夏劲松赵佳欣张吕权王立鼎
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- 压电微悬臂梁探针的制备工艺研究
- 随着微纳米科技的发展，人类需要更有力的工具来实现微纳器件的加工和表征。压电微悬臂梁探针以其优越的自驱动、自感知性能克服了普通探针的缺点，在扫描探针显微镜、隧道传感器、微纳米加工、高密度数据存储中的应用越来越多。本文以压电...
- 夏劲松
- 关键词：微纳米加工干法刻蚀
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- 掩模偏转方向对硅尖形状的影响被引量：4
- 2009年
- 为制备高纵横比的纳米硅尖,研究了掩模的偏转方向对硅尖形状的影响。设计了硅尖制备的工艺流程,采用KOH溶液湿法各向异性腐蚀(100)单晶硅的方法制备硅尖,根据实验结果和{411}晶面模型,分析了硅尖侧壁的组成晶面,讨论了掩模偏转方向对硅尖形状的影响,得到了制备高纵横比纳米硅尖的工艺参数。实验结果表明:当腐蚀溶液浓度和温度一定时,正方形掩模的方向并不影响快腐蚀晶面的类型,利用正方形掩模的偏转,可以制备出八面体和四面体的硅尖。当正方形掩模边缘沿〈110〉晶向时,在78℃、浓度为40%的KOH溶液中腐蚀硅尖,经980℃干氧氧化3h进行削尖,可制备出纵横比>2的八面体纳米硅尖阵列,硅尖侧壁由与(100)面夹角为76.37°的{411}晶面组成。
- 崔岩石二磊夏劲松王立鼎
- 关键词：硅尖各向异性掩模
- 一种压电微悬臂梁探针的制作方法
- 本发明公开了一种压电微悬臂梁探针的制作方法，属于微机械传感器与执行器领域技术领域。其特征在于采用局部压电层的方法实现了纳米硅针尖制作工艺与压电薄膜制作工艺的集成。制作过程中，纳米硅针尖采用有掩膜的各向异性湿法腐蚀方法，压...
- 崔岩夏劲松赵佳欣张吕权王立鼎
- 文献传递
- 压电微悬臂梁探针的制作工艺研究被引量：2
- 2011年
- 为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.
- 崔岩张吕权夏劲松王立鼎
