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吴汇焱
作品数:
7
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供职机构:
西安交通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
徐可为
西安交通大学
宋忠孝
西安交通大学
马凌志
西安交通大学
史彦慧
西安交通大学
岳晴雯
西安交通大学
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机构
7篇
西安交通大学
作者
7篇
吴汇焱
6篇
宋忠孝
6篇
徐可为
3篇
吴胜利
3篇
刘纯亮
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刘录平
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岳晴雯
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史彦慧
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马凌志
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何国华
2篇
钱旦
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范丽娜
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马大衍
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王剑锋
传媒
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稀有金属材料...
年份
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2012
2篇
2011
3篇
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Zr-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料,公开了一种Zr-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤:在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中,以玻璃为基体,同时以Zr靶与Si靶进行反应磁控溅射...
宋忠孝
吴汇焱
吴胜利
徐可为
史彦慧
刘纯亮
刘录平
马凌志
岳晴雯
文献传递
Nb-Si-N表面传导电子发射膜的制备及其特性研究
吴汇焱
关键词:
显示器件
微观结构
场致发射
Zr含量对磁控溅射Mg-Zr-O薄膜微观结构和放电性能的影响
2011年
采用磁控溅射在玻璃基底上沉积Mg-Zr-O复合介质保护膜,研究Zr掺杂含量对薄膜微观结构和放电性能(着火电压,最小维持电压)的影响。结果发现,沉积的Mg-Zr-O薄膜晶粒细小,微观结构仍然保持MgO的面心立方NaCl型结构,所掺杂的Zr以Zr4+形式置换固溶于MgO晶格中。当掺杂Zr浓度为2.03at%时,薄膜具有最强的(200)择优取向和最小的表面粗糙度。适当Zr掺杂的Mg-Zr-O薄膜和纯MgO薄膜相比,其着火电压和最小维持电压分别降低了25和15V。
王剑锋
吴汇焱
宋忠孝
马大衍
徐可为
刘纯亮
关键词:
磁控溅射
放电性能
Nb-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料,公开了一种Nb-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤:在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中,以玻璃为基体,同时对Nb靶与Si靶进行反应磁控溅射...
宋忠孝
吴汇焱
吴胜利
徐可为
史彦慧
刘纯亮
刘录平
马凌志
岳晴雯
文献传递
W-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料,公开了一种W-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤:在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中,以玻璃为基体,同时以W靶与Si靶进行反应磁控溅射,沉...
宋忠孝
史彦慧
吴胜利
徐可为
熊斯梁
刘录平
吴汇焱
马凌志
岳晴雯
文献传递
一种自形成梯度Zr/ZrN双层扩散阻挡层及其制备方法
本发明提供了一种自形成梯度Zr/ZrN双层扩散阻挡层及其制备方法,扩散阻挡层包括衬底、沉积在衬底上并作为种子层和自析层的Cu(Zr)合金薄膜、植入于衬底和Cu(Zr)合金薄膜之间并作为预阻挡的纳米晶ZrN,以及沉积在Cu...
宋忠孝
何国华
李雁淮
钱旦
范丽娜
吴汇焱
徐可为
文献传递
一种Ru-RuO/Ru-Ge-Cu自形成双层非晶扩散阻挡层及其制备方法
本发明提供了一种Ru-RuO/Ru-Ge-Cu自形成双层非晶扩散阻挡层及其制备方法,扩散阻挡层体系包括衬底、沉积在衬底上并作为种子层和析出层的Cu(Ru)合金薄膜、植入于衬底和Cu(Ru)合金薄膜之间并作为预阻挡和耗尽层...
宋忠孝
何国华
李雁淮
钱旦
范丽娜
吴汇焱
徐可为
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