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触针式光电三维微位移测量系统设计及标定被引量：9: 2012年; 提出了一种触针式微位移测量系统的设计方法。该系统通过悬臂梁探针感知微位移变化,通过光学方法对微位移进行放大,并根据微位移测量系统的光路建立了该系统的数学模型,并对数学模型中的系统参数的标定方法进行了分析。完成了微位移测量系统中铍青铜材料低弹性系数的悬臂梁和耐磨探针的设计,最后搭建了系统的实验平台,并在此硬件的基础上完成了参数标定实验和量块及圆柱样件的测量实验,并对圆柱测量数据进行了测头半径补偿,系统测量曲面的精度达到了7 m。实验表明该系统能够很好地应用于微纳测量实验中。; 于唤唤张宏伟张晓杰刘敏; 关键词：微位移测量悬臂梁

触针式光电三维微位移测量系统设计: 微纳米测量技术已成为当今国内外测量技术领域研究的热点和前沿，也是我国重点支持和发展的高新技术之一。随着微纳米技术的发展，出现了各种微纳米级别的测量仪器，如纳米坐标测量机、光学显微镜、电子显微镜、扫描隧道显微镜(STM)、...; 于唤唤; 关键词：微位移测量悬臂梁 PSD传感器 LABVIEW软件

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于唤唤