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乐承宁

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 4篇电涡流
  • 4篇信号
  • 4篇涡流传感器
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇等效电感
  • 2篇电感
  • 2篇多频
  • 2篇多频信号
  • 2篇信号频率
  • 2篇抛光
  • 2篇抛光垫
  • 2篇抛光液
  • 2篇精密测量技术
  • 2篇化学机械抛光
  • 2篇机械抛光
  • 2篇测量方法

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇乐承宁
  • 4篇路新春
  • 4篇孟永钢
  • 4篇赵乾
  • 2篇曲子濂
  • 2篇赵德文

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法
一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法，属于精密测量技术领域。该方法利用置于待测金属薄膜上方的电涡流传感器测量得到传感器的等效电感L随激励信号频率ω的变化关系曲线，采用数值拟合的方法获得该曲线的拟合参数，由拟合参数可以确定出该...
赵乾孟永钢乐承宁路新春
电涡流金属膜厚度终点检测装置
电涡流金属膜厚度终点检测装置，属于集成电路化学机械抛光工艺设备技术领域。该装置包括电涡流传感器、导电滑环、导电定环、多频信号发生单元、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元。电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且...
孟永钢曲子濂乐承宁赵德文赵乾路新春
一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法
一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法，属于精密测量技术领域。该方法利用置于待测金属薄膜上方的电涡流传感器测量得到传感器的等效电感L随激励信号频率ω的变化关系曲线，采用数值拟合的方法获得该曲线的拟合参数，由拟合参数可以确定出该...
赵乾孟永钢乐承宁路新春
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电涡流金属膜厚度终点检测装置
电涡流金属膜厚度终点检测装置，属于集成电路化学机械抛光工艺设备技术领域。该装置包括电涡流传感器、导电滑环、导电定环、多频信号发生单元、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元。电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且...
孟永钢曲子濂乐承宁赵德文赵乾路新春
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