您的位置： 专家智库 > >

绍兴文理学院数理信息学院微电子实验室

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关机构：东南大学电子科学与工程学院东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作机构

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇应力
  • 1篇界面应力

机构

  • 1篇东南大学
  • 1篇绍兴文理学院

作者

  • 1篇陈新安
  • 1篇黄庆安

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟被引量：4
2006年
根据Suhir的双金属带的热应力分布理论,建立了Si/Si直接键合界面应力模型,推导出了由于高温引起的正应力、剪切应力和剥离应力的解析方程。并且应用模拟软件Matlab对热应力进行了模拟,直观地表现了键合界面应力的大小及其分布情况,对键合工艺有一定的指导意义。
陈新安黄庆安
关键词：界面应力
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0