西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室
- 作品数：229 被引量：777H指数：12
- 相关作者：孙磊赵洪策李红卫薛亮董拴成更多>>
- 相关机构：空军工程大学航空航天工程学院北京工业大学环境与能源工程学院教育部传热强化与过程节能重点实验室北京工业大学环境与能源工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 静电梳齿驱动结构的稳定性分析被引量：7
- 2011年
- 静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿驱动结构稳定性的影响因素,并进行理论分析、仿真分析和实验验证。结果表明:支撑梁结构的纵/横刚度比是影响静电梳齿驱动结构稳定性的关键因素,其比值越大,静电梳齿驱动结构的稳定性越好。
- 张峰苑伟政常洪龙丁继亮谢建兵
- 关键词：稳定性刚度
- 大输出微控制力矩陀螺的设计
- 2011年
- 为了提高微控制力矩陀螺的输出力矩,提出了一种微型控制力矩陀螺的设计方案。所设计的微型控制力矩陀螺用角振动代替了传统控制力矩陀螺的转动,由转子角振动系统及框架角振动系统组成,实现了基于科氏效应的控制力矩输出。通过框架角振动系统的电极位置居中设置及在玻璃上挖槽的设计,避免了静电吸合现象。四个完全相同的微型控制力矩陀螺构成一个阵列,每两个微型控制力矩陀螺的电压相位依次相差90°,即可消除寄生控制力矩并稳定力矩输出。所设计的微型控制力矩陀螺四单元阵列的力矩输出可达5.12×10-6 Nm。最后,设计了微型控制力矩陀螺两层可动结构的工艺流程,所设计的工艺流程尽管具有一定的复杂性和难度,但均采用了当前一些比较成熟的工艺步骤,具有一定的可行性,有望在微型航天器的姿态控制上得到应用。
- 常洪龙白滨焦文龙谢建兵秦子明苑伟政
- 关键词：微机电系统
- 微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究被引量：2
- 2006年
- 研究了基于MOEMS技术的微型可编程光栅的光学特性.对平行复色光正入射时微型可编程光栅的衍射场进行了理论分析,分析表明可以通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱,即模拟光谱.最后介绍了微型可编程光栅的光谱模拟特性在相关光谱检测法中的应用,分析了其相对于传统方法的优点.
- 安飞苑伟政乔大勇秦冲
- 关键词：MOEMS光谱模拟
- 有尾排气式真空封装内部放气特性分析
- 2016年
- 以一种有尾排气式真空封装器件为对象,从释放气体组分和放气量两方面对封装体内部放气特性进行了分析,旨在为器件的高真空度设计、提高器件寿命提供依据。首先,通过残余气体分析得到了各封装体内部的气体成分,推理出各构件所释放气体的具体组分;其次,通过真空电阻丝标定方法得到了各封装体内的压强变化,分析出各构件的放气量。研究结果表明,封装体内部的气体主要有:N_2,O_2,Ar,CO_2,H_2O,H_2,碳氢化合物,甲醇等,其中管壳是最大的气源,主要释放气体为H_2、H_2O;其次为银浆,主要释放气体为CO_2、N_2;最后为半导体制冷器,主要释放气体为H_2O、CO_2、N_2。
- 乔大勇曹兰玉夏长峰
- 关键词：真空封装
- 一种硅深刻蚀中抑制Lag效应的新方法被引量：3
- 2010年
- 在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异。为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三阶段模型为基础,提出一种可以对Lag效应进行补偿的刻蚀模型。
- 张洪海苑伟政马志波
- 关键词：MEMS刻蚀速率
- MEMS器件与电路共同仿真原型系统被引量：2
- 2010年
- 为了预测MEMS器件与电路组成的完整MEMS系统的行为,建立了一个支持MEMS器件与电路共同仿真的原型系统。首先,根据MEMS系统级仿真与模拟电路仿真的共同特性,提出了MEMS器件与电路共同仿真的原理和方法,并依托国产电路仿真平台Zeni VLG建立了共同仿真原型系统的框架结构;然后,分别根据修正节点分析方法和模拟电路行为级建模方法开发了该共同仿真原型系统所必需的两个参数化模型库。通过一个跷跷板式微加速度计分别与其开环电路和闭环带载波电路的共同仿真对原型系统和模型库进行了测试,与国外商业软件Saber对比,开环仿真结果相对误差为2.1%,表明提出的原型系统能够有效进行MEMS器件与电路共同仿真,并且具有较高的精度。
- 苑伟政牛昊彬常洪龙马炳和
- 关键词：微机电系统接口电路加速度计
- 电容式微机械陀螺接口电路
- 接口电路是电容式微机械陀螺研制中的关键技术之一.本文给出了一种通用的电容式微机械陀螺接口电路方案.该方案包括电容检测和信号处理两个模块.相位相反幅度相同的两路高频载波加在敏感差动电容的两端形成敏感电桥,另一频率的高频载波...
- 蒋庆华苑伟政常洪龙
- 关键词：微机械陀螺电容检测电桥电荷放大器接口电路电容传感器
- 文献传递
- 分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计被引量：6
- 2006年
- 利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本;所设计的MEMS微变形镜的各项性能指标完全能满足一般自适应光学系统的应用要求.
- 虞益挺苑伟政乔大勇李晓莹
- 关键词：微变形镜
- 一种新型CCD图像采集系统设计被引量：8
- 2006年
- 结合电荷耦合器件和外围设备,介绍了一种CCD图像数据采集系统设计。采用74HC04逻辑非芯片将模数转换芯片和数据缓存芯片之间的CLK信号适当延迟,解决了图像数据模数转换后输出到FIFO缓存的时序控制问题。通过电路设计解决了微控制器难以直接应用于高速数据采集的难题,实现连续图像数据采集和处理,具有较好的通用性。
- 马志波乔大勇虞益挺苑伟政姜澄宇
- 关键词：驱动电路电荷耦合器件FIFO
- 一种MEMS CAD系统级到工艺级版图生成技术被引量：3
- 2006年
- 采用自定义版图转换技术设计了MEMS系统级到工艺级之间的数据传递接口,通过对系统级设计得到网表文件的信息读取,提取了其中组件的版图信息、位置信息以及连接信息等将系统级设计结果,自动转化为二维标准版图文件,为实现“自顶向下”设计,进行器件版图编辑、掩膜板设计提供了一种有效的途径。
- 谢建兵苑伟政常洪龙徐景辉
- 关键词：自顶向下设计接口技术版图
