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北京智朗芯光科技有限公司

作品数：135 被引量：19H指数：2
相关机构：中国科学院微电子研究所中微半导体设备(上海)有限公司电子科技大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金四川省科技计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 130篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 11篇电子电信
  • 5篇理学
  • 4篇机械工程
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇文化科学

主题

  • 38篇光谱
  • 38篇光学
  • 38篇半导体
  • 37篇入射
  • 28篇晶片
  • 26篇光谱仪
  • 26篇垂直入射
  • 22篇偏振
  • 20篇基底
  • 19篇半导体材料
  • 18篇分光
  • 17篇校准
  • 16篇光学常数
  • 13篇偏振器
  • 13篇热辐射
  • 13篇外延片
  • 13篇反射率
  • 12篇膜厚
  • 10篇平面反射镜
  • 10篇反射镜

机构

  • 135篇北京智朗芯光...
  • 50篇中国科学院微...
  • 4篇中微半导体设...
  • 2篇电子科技大学
  • 1篇北京工业大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇广东省中科宏...

作者

  • 13篇李国光
  • 13篇刘涛
  • 11篇吴文镜
  • 4篇徐鹏
  • 4篇崔高增
  • 4篇王林梓
  • 2篇李成敏
  • 2篇姜晶
  • 2篇李国光
  • 2篇王超
  • 1篇郭霞
  • 1篇陈磊
  • 1篇叶甜春
  • 1篇王军喜
  • 1篇胡俊
  • 1篇梁莹林
  • 1篇严冬
  • 1篇夏洋
  • 1篇王飞
  • 1篇杨萍

传媒

  • 2篇电子科技大学...
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇微电子学
  • 1篇第十四届全国...

年份

  • 1篇2020
  • 13篇2018
  • 13篇2017
  • 22篇2016
  • 33篇2015
  • 20篇2014
  • 20篇2013
  • 5篇2012
  • 7篇2011
  • 1篇2010
共 135 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种自动检测晶片基底二维形貌的装置
本发明公开了一种自动检测晶片基底二维形貌的装置，属于半导体材料无损检测技术领域。该装置中，N束激光的多路出射光是由一个激光器经过一个包含多个分光面的分光棱镜，通过给所述多个分光面赋予差异化的反射率和透射率，使得经过该分光...
刘健鹏马铁中张立芳黄文勇桑云刚
文献传递
实时快速检测晶片基底二维形貌的方法
本发明公开了一种实时快速检测晶片基底二维形貌的方法。该方法包括以下步骤：令N束激光沿晶片基底径向即X方向入射到晶片基底后又分别反射到与入射光一一对应的PSD上，形成N个光斑；根据N个光斑的位置信号，计算晶片基底上任意两个...
刘健鹏李成敏严冬
一种三维移动装置
本发明公开了一种三维移动装置，属于光学测量技术领域。该装置包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构和承载机构。该装置的升降机构受限于由固定连接件的第一通孔、X方向移动平台的第二通孔、Y方向移...
吴文镜张塘李成敏
文献传递
W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统
本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第I...
李国光刘涛吴文镜赵江艳
文献传递
基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
2013年
研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。
严冬李国光刘涛熊伟李成敏郭青杨叶甜春
关键词：形貌
光学无色差聚焦系统
本申请涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面...
李国光吴文镜王林梓刘健鹏刘涛赵江艳
文献传递
一种晶圆片辅助装载装置
本发明公开了一种晶圆片辅助装载装置，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该装载装置包括升降机构、晶圆片台、至少两个移动轴、限位板、两根限位导轨和底板。该装载装置能够借助升降机构与移动轴、限位板、两根限位导轨和底板之间的相互...
吴文镜李成敏
文献传递
包含参考光束的垂直入射光谱仪及光学测量系统
本发明公开了一种包含参考光束的垂直入射光谱仪，包括光源、光源聚光单元、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射光谱仪利用由平面反射镜组成的平面反射单元，实现了分...
李国光赵江艳刘涛郭青杨艾迪格·基尼欧马铁中
文献传递
一种监测晶片生长薄膜特性的装置
本发明公开了一种监测晶片生长薄膜特性的装置，属于半导体材料无损检测领域。该装置包括反射率运算模块、温度运算模块和应力运算模块。该装置能够集成实现待测晶片反射率、温度和应力三个特性参数的监测。
李成敏严冬刘健鹏王林梓
自动实时快速检测晶片基底二维形貌的装置
本发明公开了一种自动实时快速检测晶片基底二维形貌的装置。包括第一运算模块、第二运算模块和分析模块，第一运算模块根据N个光斑的位置信号，计算晶片基底上任意两个入射点之间在待测基底沿X方向的曲率C<Sub>X</Sub>，第...
刘健鹏张瑭李成敏
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