中北大学南通智能光机电研究院
- 作品数：100 被引量：138H指数：7
- 相关机构：中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心山西省计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金山西省青年科技研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 应用于MEMS封装的TSV热可靠性分析被引量：3
- 2021年
- 针对MEMS系统中硅通孔(TSV)的热可靠性,利用快速热处理技术(RTP)进行了温度影响的实验分析。通过有限元分析(FEA)方法得到不同温度热处理后TSV结构的变化趋势,利用RTP对实验样品进行了不同温度的热处理实验,使用扫描电子显微镜和光学轮廓仪表征了样品发生的变化。结果表明,热处理后TSV中Cu柱的凸起程度与表面粗糙度均随热处理温度的升高而增加,多次重复热处理与单次热处理的结果基本相同。该项研究为TSV应用于极端环境下MEMS小型化封装提供了一种解决方案。
- 李明浩王俊强闫欣雨李孟委
- 关键词：有限元分析
- 一种弹光调制型傅里叶变换光谱仪光程差实时定标方法
- 本发明属于弹光调制干涉信号的数据处理领域，具体涉及一种弹光调制型傅里叶变换光谱仪光程差实时定标方法，包括下列步骤：对弹光调制的参考激光干涉信号和待测光源信号同时进行采样；通过帧头帧尾提取出一个周期参考激光干涉信号的数据，...
- 王志斌李克武胡将张敏娟张瑞薛鹏刘震
- 文献传递
- 一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片
- 一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片，传感器包括：玻璃衬底，玻璃衬底上开设有多个玻璃通孔，玻璃通孔内设置有导热金属；测温组件，设置在玻璃衬底上表面且位于玻璃通孔顶部，用于检测电阻的变化；加热组件，设置在玻璃通孔底...
- 王俊强李孟委高经武刘佳政
- 文献传递
- 一种弹光调制器精确定标微系统设计被引量：5
- 2022年
- 弹光调制器利用各向同性晶体受迫振动后产生的双折射效应,对入射的偏振光进行相位调制,在偏振调制及测量方面具有重要应用。弹光调制器的相位延迟是其关键指标参数,实际应用时需对驱动电压与相位延迟进行标定。但传统的弹光调制器定标系统中的元件体积较大,且在使用前完成标定,误差大。为了使弹光调制系统能够实现实时定标,达到精确定标的目的,同时提高使用的便捷性,提出一种弹光调制器精确定标微系统设计,通过缩小定标系统元件的尺寸,集成固定在弹光调制器通光孔径边缘,实现相位延迟实时标定。经实验验证,弹光调制器定标微系统的能够在不影响中心光路情况下,实时精确标定弹光调制器的相位延迟,实验测试了1h相位延迟定标,定标结果表明相位延迟偏差小于1%。
- 刘梓良王志斌李克武李克武梁振坤李晋华
- 关键词：光学测量相位调制
- 一种小型化射频MEMS电子校准件设计被引量：6
- 2021年
- 通过短路-开路-负载-直通(SOLT)校准原理与MEMS开关结合,设计了一种小型化多功能电子校准件。仿真结果表明,在0.1~20 GHz频段内,该电子校准件的双端口校准仅需2步;直通状态插入损耗≤0.9 dB,开路状态回波损耗≤0.48 dB,短路状态回波损耗≤0.39 dB。整体尺寸为2.5 mm×1.2 mm×0.8 mm。该MEMS电子校准件体积小,损耗低,成本低,校准准确度高,效率高,适用于毫米波测量和小型智能化校准领域。
- 王姗姗吴倩楠吴倩楠范丽娜李孟委
- 关键词：MEMS
- 一种用于多种芯片的导电胶夹具
- 本发明属于微波测试技术领域，具体涉及一种用于多种芯片的导电胶夹具，所述大射频PCB测试板设置在夹具底座上，所述大射频PCB测试板上设置有带有放射频芯片夹具小射频PCB测试板，所述带有放射频芯片夹具小射频PCB测试板上设置...
- 王耀利程亚昊王志斌李孟委张翀张凯旗
- 文献传递
- “星”型射频MEMS四刀四掷开关的设计被引量：5
- 2021年
- 为了解决传统开关可控通道较少、尺寸较大、插入损耗较高等问题,以射频微机电系统(MEMS)单刀单掷开关为基础,设计了“星”型的射频MEMS四刀四掷开关,可控制多通道信号导通与断开。采用HFSS仿真软件,对设计的器件的插入损耗、隔离度及驻波比等关键参数进行优化。结果表明:当工作频段为DC~26.5 GHz时,射频MEMS四刀四掷开关插损优于1.19 dB@26.5 GHz,隔离度优于31.75 dB@26.5 GHz,驻波比小于1.7,整体尺寸为1.2 mm×2.174 mm×0.51 mm。本文设计的四刀四掷开关具有低插损、小体积、多通道可调等的优点,可与功分器、移相器、延时器、天线等单片集成,用于通信、雷达、导航及微波测试仪器等系统中,实现多通道信号分配、移相、延时及可重构的功能。
- 张世义王姗姗吴倩楠吴倩楠王宇李孟委
- 关键词：射频微机电系统可调多通道
- 边缘贴装连接器过渡结构带宽改进设计
- 2022年
- 随着信号传输速率的不断提高,THRU-校准板必须能够在高频线路中保证良好的传输特性。然而,连接器与校准板的过渡结构中总是存在不连续性,这种不连续性严重制约THRU-校准板的测试带宽。针对该问题,对边缘贴装连接器过渡结构进行研究,分析过渡结构中返回电流路径不连续的原因,提出过渡结构底层添加焊料改善过渡结构不连续性的方法。在此基础上,为了进一步改善过渡结构中返回路径的不连续性,提出减小通孔壁间距来提升测试带宽的方法。最后对两种方法进行仿真分析和实验验证,结果显示,经过两种方法处理之后,极大地提升了THRU-校准板的传输性能,使其测试带宽提升至40 GHz。
- 张凯旗李晓王耀利张翀张翀
- 一种雪花型MEMS单刀五掷开关的研究与设计被引量：10
- 2021年
- 针对MEMS单刀多掷(SPMT)开关插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于雪花型功分器的单刀五掷(SP5T)MEMS开关,通过雪花型功分器实现信号的均衡分配和低损耗传输。通过设计H形上电极结构,有效减小开关弱接触,增强开关接触稳定性,实现信号的高隔离。采用HFSS仿真软件,对开关的插入损耗、隔离、驱动电压和应力分布进行了设计,并结合COMSOL软件对开关进行了机械性能分析。结果表明,在1~20 GHz频段内,五个端口插入损耗在0.2 dB@20 GHz以下,隔离度在23 dB@20 GHz以上,驱动电压为24 V。这些指标均优于常规SPMT开关。该SP5T MEMS开关可应用于多任务、多通道可调谐器件中,在无线通信、微波测试系统中具有应用价值。
- 范丽娜吴倩楠吴倩楠韩路路侯文侯文
- 关键词：MEMS高隔离
- 一种非谐振式纳米光栅六轴MEMS惯组测量装置
- 本发明属于微惯性导航仪器测量仪技术领域，具体涉及一种非谐振式纳米光栅六轴MEMS惯组测量装置，包括环形器、上层结构、下层结构，所述上层结构设置在下层结构上，所述上层结构包括惯性测量装置，所述惯性测量装置上设置有离面运动检...
- 金丽易进张瑞辛晨光李孟委
- 文献传递
