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天通日进精密技术有限公司
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一种便于固定工件的开磨装置及其使用方法
本发明公开一种便于固定工件的开磨装置及其使用方法,包括开磨平台,开磨平台上转动设有转盘,转盘用于放置工件,开磨平台上固定有用于驱动转盘转动的第一电机,开磨平台的上方设有对称分布的侧板,转盘位于侧板之间,侧板上滑动夹持件,...
苏静洪
朱勤超
俞佳文
张王锋
沈鑫佳
线切割装置
本申请提供一种线切割装置,应用于对硅棒进行切割作业的硅棒截断设备,通过设置一可旋转切割架于一升降机构上,在切割架的第一悬臂、第二悬臂及第三悬臂上分别设置有第一多线切割轮、第二多线切割轮及单线切割轮,由切割轮位置设计封闭式...
卢建伟
文献传递
一种开磨机用排丝张力调节装置及其调节方法
本发明涉及开磨机技术领域,尤其是一种开磨机用排丝张力调节装置及其调节方法,现提出如下方案,其包括底座,所述底座上设有两个第二杆,两个第二杆的一侧均固定连接有第三杆,第三杆的一侧底部均固定连接有第四杆,两个第四杆的一侧均滑...
张钦亮
张峰
韩鸣明
俞佳文
陶施家
硅棒开方设备和硅棒转换装置
本申请公开一种硅棒开方设备和硅棒转换装置,该硅棒开方设备包括硅棒转换装置和线切割装置,其中,利用硅棒转换装置可将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以供线切割装置对位于切割区的待切割硅棒进行开方切割,以及利用硅棒转换装置...
卢建伟
潘雪明
文献传递
多段式半导体晶棒截断机
本发明公开了一种多段式半导体晶棒截断机,包括:基座、物料输送装置、单段式截断装置、多段式截断装置、走线系统,其中单段式截断装置及多段式截段装置均可对半导体晶棒实时同步的切割及截取截断处样片作业,相比于现有截断与取样分开作...
卢建伟
苏静洪
张峰
裴忠
李鑫
潘雪明
曹奇峰
文献传递
多工位组合式晶棒加工设备
本发明的多工位组合式晶棒加工设备,包括:晶棒切割单元,用于将晶棒工件切割为第一预设形状,所述第一预设形状包括:截面为具有倒角的多边形的棒体;晶棒输送单元,呈圆盘形或圆环形且能旋转运动以输送晶棒工件;设置于晶棒输送单元的输...
卢建伟
文献传递
线切割装置及多工位开方设备
本申请公开一种线切割装置及多工位开方设备,所述线切割装置包括:切割架;至少一线切割单元,可升降地设于所述切割架;所述线切割单元包括:切割轮、切割线、和连杆式的调距机构,所述调距机构并关联于线切割单元,在调距机构作用下,可...
朱勤超
俞佳文
钱春军
曹奇峰
李鑫
卢建伟
文献传递
多段式半导体晶棒截断机
本实用新型公开了一种多段式半导体晶棒截断机,包括:基座、物料输送装置、单段式截断装置、多段式截断装置、走线系统,其中单段式截断装置及多段式截段装置均可对半导体晶棒实时同步的切割及截取截断处样片作业,相比于现有截断与取样分...
潘雪明
苏静洪
张峰
裴忠
梁文
吴张琪
朱勤超
文献传递
一种晶圆背面磨床的物料定位装置
本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的物料定位装置,包括吸附盘、安装壳体、旋转机构以及定中心机构,所述安装壳体包括底座、导向板以及安装板,所述导向板上呈环形阵列的设置有至少三个导向孔,所述导向孔在其延伸方向上均穿过同一个圆心...
张王锋
吴丰杰
张佳斌
王涛
赵文豪
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晶圆多工位边缘抛光设备
本申请公开一种晶圆多工位边缘抛光设备,至少集合了晶圆凹口抛光装置和晶圆边缘抛光装置,可利用晶圆转移装置能将晶圆快速、平稳且无损伤地在各个作业装置之间转移,不仅能使得晶圆能在同一设备中依序完成晶圆凹口抛光作业和晶圆边缘抛光...
潘雪明
李鑫
苏静洪
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