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东莞市欧莱溅射靶材有限公司

作品数：163 被引量：0H指数：0
相关机构：韶关市欧莱高新材料有限公司广东欧莱高新材料股份有限公司中国建筑玻璃与工业玻璃协会更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺化学工程文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 161篇专利
  • 1篇标准
  • 1篇科技成果

领域

  • 23篇自动化与计算...
  • 14篇金属学及工艺
  • 5篇化学工程
  • 4篇电气工程
  • 4篇文化科学
  • 3篇建筑科学
  • 2篇医药卫生
  • 1篇生物学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇冶金工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 92篇靶材
  • 31篇绑定
  • 24篇背管
  • 20篇合金
  • 18篇溅射
  • 17篇等静压
  • 17篇端头
  • 13篇喷涂
  • 13篇溅射靶材
  • 12篇焊合
  • 12篇高纯
  • 10篇预处理
  • 10篇冷等静压
  • 10篇浇铸
  • 9篇热等静压
  • 9篇装夹
  • 9篇工装
  • 9篇高纯铝
  • 9篇纯铝
  • 7篇生产效率

机构

  • 163篇东莞市欧莱溅...
  • 27篇韶关市欧莱高...
  • 19篇广东欧莱高新...
  • 1篇中国建筑玻璃...
  • 1篇上海子创镀膜...
  • 1篇安泰科技有限...
  • 1篇玻璃有限公司

年份

  • 8篇2024
  • 4篇2023
  • 4篇2022
  • 8篇2021
  • 75篇2020
  • 46篇2019
  • 17篇2018
  • 1篇2013
共 163 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于旋转靶绑定的加热装置
本实用新型公开了一种用于旋转靶绑定的加热装置，加热装置包括设置在旋转靶绑定工装装置旁侧的升降支柱、加热模块和升降驱动装置，加热模块，用作对旋转靶材进行局部加热，加热模块滑动安装于升降支柱靠近旋转靶绑定工装装置的一侧，加热...
陈明恒
文献传递
一种旋转靶分节绑定装置及分节绑定方法
本发明通过定位配合的外加热装置和内加热装置在背管的表面依次表成多节金属层浇铸空间，依次在背管的表面浇铸成型多节金属层，且相邻两节金属层连结成一体；本发明能够生产任意长度的背管成型金属层，结构简单，减少加热元件及各种检测元...
陈明恒文锋
文献传递
一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置
本实用新型涉及靶材绑定控制设备技术领域，尤其是指一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，其包括主控柜、独立于主控柜外的发热组件和设置于主控柜内的控制电路，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括一外发热包组和一内发热包...
李兵
文献传递
一种高纯铜旋转靶焊接端头的半自动校直方法
本发明公开了一种高纯铜旋转靶焊接端头的半自动校直方法，将铜合金尾盖固定在旋转装夹装置后，启动旋转装夹装置使高纯铜旋转靶转动，通过校直测量装置测量铜合金端头的直线度，从而确定内，外校直点和校直值，使用加热装置将铜合金端头进...
伍温良
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G8.5代高纯铝旋转靶材制备关键技术及应用
文宏福李正昌郭文明张中美吴本
一、项目简介： 铝、铜具有良好的导电、传热性能，是常用的电路导线材料。磁控溅射的高纯铝薄膜经过蚀刻，形成几十纳米到几百纳米的金属线条，也是集成电路比如液晶面板和半导体中常用的引线结构。高纯的靶材是高性能集成线路的控制基...
关键词：
一种平面靶的校平方法
本发明公开了一种平面靶的校平方法，包括A、检测步骤、B、校平步骤、B1、校平准备子步骤、B2、校平子步骤和C、校平等待步骤。本发明的平面靶材的校平方法，校平精度高，校平时间短，成品率高，提高生产效率。
文锋
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一种靶材喷涂机自动报警及应急处理装置
本实用新型公开了一种靶材喷涂机自动报警及应急处理装置，主轴传动连接一减速器，减速器安装有一按设定减速比旋转的感应轴，感应轴的侧面固定有与第一接近传感器感应配合的第一感应螺钉，行走轮的侧面等间距安装有若干与第二接近传感器感...
李兵
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一种铟溶液置换装置
本实用新型涉及一种铟溶液置换装置。本实用新型所述的一种铟溶液置换装置包括置换槽本体，还包括：一内槽，所述内槽可上下移动的嵌套在置换槽本体内部；所述内槽的底面大小与置换槽本体的底面大小相匹配；所述内槽底部设置有圆孔，槽内还...
闻玉凤文宏福
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一种平面靶材的自动喷砂设备
本实用新型公开了一种平面靶材的自动喷砂设备，包括喷砂室和喷砂平台，喷砂室与喷砂平台连接，喷砂平台设置有用于运送靶材移动的运送装置，喷砂室内设置有喷砂装置，喷砂装置设置在运送装置上方，喷砂装置包括中部摆动喷砂装置和侧部喷砂...
文宏福郭文明
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一种高纯铝旋转靶的端头焊接方法
本发明公开了一种高纯铝旋转靶的端头焊接方法，本发明的端头焊接方法分三步对端头焊接口或尾盖焊接口进行焊接，第一步为点焊接，第二步为弧段焊接，第三步为圆周焊接。本发明方法能防止高纯铝旋转靶材变形，铝合金端头与高纯旋转靶材的同...
伍温良
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