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中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司
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中芯国际集成电路制造(上海)有...
中芯国际集成电路制造(天津)有...
北京科技大学
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半导体测试结构
本实用新型提供一种半导体测试结构,包括:MIM电容阵列,包括若干个呈阵列分布的MIM电容块;所述MIM电容阵列包括第一测试区域及第二测试区域,所述第一测试区域及所述第二测试区域均包括多个MIM电容块;每个所述MIM电容块...
孙涛
文献传递
研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置
本实用新型公开了一种研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置,所述研磨垫调整器清洗装置包括一清洗杯和至少一个喷嘴,所述研磨垫调整器位于所述清洗杯上方,所述喷嘴固定于所述清洗杯的周壁,用于向所述清洗杯上方的研磨垫调整器喷洒清...
唐强
文献传递
封装结构及封装方法
一种封装结构及封装方法,方法包括:提供第一晶圆,包括位于第一晶圆一侧的底部介质层、以及位于第一晶圆另一侧的顶部介质层,第一晶圆上键合有第二晶圆,第二晶圆位于底部介质层一侧,第二晶圆和底部介质层之间形成有金属互连结构;在顶...
魏佳奇
封装方法
一种封装方法,包括:提供多个晶圆,晶圆包括键合面,晶圆包括第一晶圆和第二晶圆;对第一晶圆和/或第二晶圆进行边缘减薄处理,从键合面一侧沿第一晶圆和/或第二晶圆的边缘减薄部分宽度的晶圆,使得第一晶圆和/或第二晶圆边缘的厚度小...
史鲁斌
半导体结构及其形成方法
一种半导体结构及其形成方法,半导体结构包括:栅极结构,位于基底上;源漏掺杂层,位于栅极结构两侧的基底内;介质层,覆盖栅极结构和源漏掺杂层的顶部;源漏插塞,贯穿栅极结构两侧的介质层并与源漏掺杂层顶部电连接,源漏插塞沿栅极结...
苏柏青
金吉松
苏柏松
王俊
半导体结构及其形成方法
一种半导体结构及其形成方法,其中方法包括:提供基底,所述基底包括沿第一方向排布的有效区和隔离区,且所述有效区位于所述隔离区两侧并与所述隔离区相邻,所述基底上具有第一鳍部和平行于所述第一鳍部的第二鳍部,且所述第一鳍部和第二...
邱晶
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陈建
王彦
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光学邻近修正方法及掩膜版的制作方法
一种光学邻近修正方法及掩膜版的制作方法,提供参考版图,所述参考版图包括若干参考图形;根据所述参考版图获取图形修正数据库;提供待修正版图,所述待修正版图包括若干待修正图形;对所述待修正版图进行分类,获取每个所述待修正图形的...
陈术
文献传递
半导体结构及其形成方法
一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,包括器件区和位于相邻器件区之间的隔离区,器件区和隔离区的基底上形成有栅极结构,栅极结构露出的基底上形成有层间介质层,露出栅极结构顶部;去除隔离区的栅极结构以及其底部的部...
周飞
LDMOS器件及其形成方法、半导体器件的形成方法
本发明提供一种LDMOS器件及其形成方法、半导体器件的形成方法,LDMOS器件包括:位于漂移区内的漏区;位于体区内的源区,基底暴露出所述源区表面,且所述源区紧挨栅极结构,所述源区的掺杂类型与漏区的掺杂类型相同;位于所述体...
王孝远
王刚宁
彭坤
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栅压自举开关电路、采样保持模块及电子装置
本发明提供一种栅压自举开关电路、采样保持模块及电子装置,所述栅压自举开关电路包括电荷泵和用作开关的MOS开关管,所述电荷泵包括用于在第一时钟信号的控制下向所述MOS开关管提供栅端控制电压的栅压供给电路、用于在第二时钟信号...
刘飞
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