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江苏亚电科技有限公司

作品数：215 被引量：0H指数：0
相关机构：常州江苏大学工程技术研究院亚电科技南京有限公司亚电科技(苏州)有限公司更多>>
相关领域：轻工技术与工程文化科学金属学及工艺医药卫生更多>>

合作机构

文献类型

  • 215篇中文专利

领域

  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇文化科学
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文学

主题

  • 132篇晶圆
  • 43篇晶圆清洗
  • 36篇硅片
  • 32篇清洗液
  • 26篇清洗方法
  • 22篇光伏
  • 18篇圆片
  • 16篇晶圆片
  • 14篇烘干
  • 13篇转轴
  • 13篇限位
  • 13篇半导体
  • 12篇夹紧
  • 11篇喷管
  • 11篇螺栓
  • 11篇螺栓连接
  • 11篇机械手
  • 10篇动力机构
  • 9篇电机
  • 9篇花篮

机构

  • 215篇江苏亚电科技...
  • 16篇常州江苏大学...
  • 14篇亚电科技南京...
  • 5篇亚电科技(苏...

年份

  • 45篇2023
  • 68篇2022
  • 92篇2021
  • 10篇2020
共 215 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种工业清洗设备清洗液供给小车
本申请涉及一种工业清洗设备清洗液供给小车，小车本体被分隔成第一空间、第二空间、第三空间和第四空间，第一空间内设置电器设备，所述第二空间内设置空压机，第三空间和第四空间又被水平布置的隔板分隔成上部分空间和下部部分，第三空间...
钱诚李刚杨勇
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一种用于单片式晶圆的清洗装置
本发明属于清洗装置领域，具体为一种用于单片式晶圆的清洗装置，包括间隙转动机构、固定机构、清洗机构，所述间隙转动机构包括底板、转轴支架、转轴、蜗轮、蜗杆，所述底板顶端通过所述转轴支架支撑有所述转轴，所述转轴一端键连接有所述...
钱诚李刚刘青松
文献传递
一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置及定位方法
本申请涉及一种晶圆清洗设备传输机构的定位装置和方法，在常规的伺服电机控制行程的基础上，增加了进一步确定机械手位置停在正确的光电传感器，以及机械手未停在正确位置时的第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器，第一块状光栅传感器...
钱诚童建霍召军
一种晶圆片数片装置及数片方法
本申请涉及一种晶圆片数片装置，由感应齿的第一传感器和感应晶圆片的第二传感器组成。本申请的晶圆片数片装置，第一传感器与标示块相配合起到对晶圆片位置的标定作用，再利用第二传感器感应晶圆片是否存在，第一传感器和第二传感器相互配...
钱诚李刚霍召军
一种无篮晶圆清洗方法
本申请涉及一种无篮晶圆清洗方法，由于晶圆直接被置入晶圆支撑架上，由晶圆支撑架直接支撑固定晶圆，省去了晶圆盒，因此，第一喷管上喷嘴能够喷出的清洗液或者清水以抛物线的形式喷射到晶圆周面上，水流被晶圆切开并流到晶圆的前后表面从...
童建李刚钱诚
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一种半导体制造用晶圆清洗回收装置
本实用新型公开了一种半导体制造用晶圆清洗回收装置，包括用于支撑设备的支撑机构、旋转机构、升降机构，所述支撑机构上方安装有所述旋转机构，所述旋转机构后部设置有所述升降机构，还包括清洗机构、烘干机构、收集机构，所述清洗机构设...
钱诚李刚霍召军
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一种晶圆水平传输机构
本申请涉及一种晶圆水平传输机构，晶圆支撑座在上料段和下料段时由水平调整机构调整为水平，以方便机械手直上直下的抓取，在传输段进行传输时，晶圆支撑座的水平部分具有一定的倾斜，可以使晶圆在晶圆支撑座上向一个方向倾斜，防止因为晶...
钱诚李刚周兴江
一种半导体炉管的清洗设备
本发明公开了一种半导体炉管的清洗设备，包括支撑机构，所述支撑机构内侧设置有用于对半导体炉管进行支撑转动的转动机构，所述转动机构上侧设置有对半导体炉管内外壁进行清洗的清洗机构，所述转动机构、所述清洗机构一侧设置有提供动力的...
钱诚童建霍召军
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一种高效晶圆片的清洗装置
本发明公开了一种高效晶圆片的清洗装置，包括清洗桶，所述清洗桶主要由外桶体、内桶体、喷头组成，所述外桶体内侧顶部固定有所述内桶体，所述内桶体内侧顶部设置有向下倾斜的所述喷头，还包括驱动机构，所述驱动机构包括机架、电机，所述...
钱诚李刚周兴江
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一种用于晶圆的清洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的清洗装置，包括保护机构、固定机构、传送机构、清洗机构，所述保护机构上设置有所述传送机构，所述传送机构上端连接有所述固定机构，所述固定机构上侧设置有所述清洗机构，所述清洗机构之间通过联动机构连接，...
钱诚李刚周兴江
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