黑龙江大学敏感技术研究所 作品数:29 被引量:37 H指数:3 相关作者: 黄得星 田凤军 李厚福 更多>> 相关机构: 清华大学信息科学技术学院微电子学研究所 清华大学信息科学技术学院 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 黑龙江省自然科学基金 更多>> 相关领域: 自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 石油与天然气工程 更多>>
用一种非晶软磁薄膜为芯制成的磁探测器的分辨率研究 被引量:2 1993年 以两根非晶软磁薄膜条(0.025×1.0×60mm^3)为芯绕成差分复绕初级和次级线圈的探测器具有良好的磁敏感特性和温度特性。试验表明,这种非晶软磁薄膜为芯的磁探测器次级输出的倍频信号电平与外界磁场具有良好的线性关系。其磁分辨率可达10^(-10)—10^(-11)T,而且在—40℃—120℃的温度范围内,温度系数为0.05%/℃。其磁分辨率随芯的长度变长而变高,而与芯的厚度和宽度在一定的范围内基本无关。这种探测器同多晶软磁薄膜为芯的探测器相比较,具有体积小,稳定性好,耐用及温度特性好的优点。 黄虎坤 黄得星关键词:磁探测器 软磁薄膜 单向过载传感器厚膜混合集成电路的研究 将传感器与信号调节电路利用厚膜电路工艺,进行混合封装,完成了传感器的一体化,实现了传感器的小型化。 孙慧明 于泉 郭宏伟 范茂军关键词:厚膜混合集成 传感器 文献传递 溶胶-凝胶法研制SnO_2微粉及其CO气敏特性 被引量:3 1994年 应用溶胶-凝胶方法,以非醇盐为起始原料,研制了SnO2微粉,通过BET比表面测定、晶粒尺寸测算、XRD,DTA差示热分析、TEM电镜观察、以及CO气敏元件的特性测试等手段,对所研制的SnO2微粉进行了结构、性能表征. 李厚福 王智民 苑喜云 何晓峰 李洪波关键词:溶胶-凝胶法 氧化锡 气敏器件 气敏特性 尽快实现MOMES的产业化 被引量:3 1999年 温殿忠关键词:传感器 微型机电系统 基于SOI硅片研制新型P^+-I-N^+双注入磁敏差分电路 被引量:1 2005年 阐述基于SOI硅片制造新型P+ I N+双注入磁敏差分电路的设计原理和制造工艺。构成新型P+ I N+双注入磁敏差分电路的磁敏三极管的复合区采用MEMS中的各向异性腐蚀技术进行设置,给出了这种复合区的复合机理。实验结果表明:此种三极管具有磁灵敏度高、噪声低和可靠性高的特点。因此,由这种新型磁敏三极管构成的差分电路具有温度漂移小的优点。 田凤军 温殿忠关键词:微机电系统 各向异性腐蚀 一种低导通磁感应强度的开关磁传感器 1990年 用一种特制的软磁坡莫合金丝做为敏感材料制成倍频发生器,用这种倍频发生器做开关型磁传感器,其尺寸为φ4×25mm。由高电平翻转到低电平的导通磁感应强度B_(HL)<10^(-3)T,使用温度为-50~180℃,温度系数小于5×10^(-4)/℃。 黄虎坤关键词:磁传感器 磁感应强度 开关 自热耗散式油井注入液体流速传感器 被引量:1 2000年 结合油田井下流速测量的特点 ,论述了一种适用于井下测量的低流速、高粘度油井注入液体流速检测的新型传感器。该传感器采用PTCR自热耗散原理检测油井注入液体流速。解决了井下空间狭窄、流体粘度大、工作温度偏高、环境压力偏大等测量难题。设计并制造了井下PTCR热耗散式流速传感器。实验和试用结果表明 ,该传感器具有良好的重复性和可靠性 。 方华军 温殿忠关键词:流速传感器 PTCR 溶胶-凝胶法研制SnO<,2>微粉及其CO气敏特性 李厚福 苑喜云关键词:气敏器件 溶胶-凝胶法 氧化锡 利用软磁合金磁弹性效应的力传感器特性研究 1993年 用六种非晶软磁薄膜和一种未经热处理的多晶软磁丝进行弹性试验和磁弹性试验.试验表明,非晶软磁薄膜和未经热处理的多晶软磁丝,在未拉断之前来产生范性行变,弹性特性非常稳定.其弹性模量为10~4kg/mm^2数量级.发现以上材料都是正磁弹性效应,而且非晶软磁材料的磁滞回线的矩形度较大,所以拉力和磁弹性效应的线性范围比较小.在线性度为10^(-3)的应力达到2.9~8.0kg/mm^2.试验表明,磁弹性效应对拉力的灵敏度很高,分辨率达到10^(-1)g,而且稳定性也非常好.从线性度来看,最好的材料是负磁弹性效应的非晶软磁合金. 黄得星 黄虎坤关键词:磁弹性效应 软磁合金 传感器 单向过载传感器厚膜混合集成电路 被引量:1 2001年 将传感器与信号调节电路利用厚膜电路工艺进行混合封装 ,完成了传感器的一体化 。 孙慧明 于泉 郭宏伟 范茂军关键词:传感器 厚膜混合集成电路