广东昭信半导体装备制造有限公司
- 作品数：40 被引量：11H指数：2
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- 相关机构：华中科技大学武汉大学武汉轻工大学更多>>
- 发文基金：广东省重大科技专项广东省粤港关键领域重点突破项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>
- 大尺寸MOCVD加热器的模拟仿真被引量：2
- 2011年
- 本文运用流体与热场耦合的有限元方法对BDS(缓冲分布喷射式)腔体结构、大尺寸石墨盘、电阻片式加热器的MOCVD反应腔体进行高温环境的稳态建模仿真,得到石墨盘表面的温度分布,通过对仿真曲线及云图的分析,对加热器进行了改进和优化设计,提出一种改动小、容易实现的改进方法,使温度均匀性在±1K以的温度有效区域显著扩大。还模拟了此种加热器在不同温度段对石墨盘表面加热的均匀性。并对通过改变入口气体流量模拟多种不同的流场环境,验证了改进后的加热器只需调整各区的加热功率就可以大范围的适应不同流场环境,给不同的晶体生长工艺提供均匀的温度边界条件。
- 陈倩翌甘志银胡少林
- 关键词：MOCVD温度有限元模拟
- 电磁场辅助的金属有机物化学气相沉积设备
- 电磁场辅助的金属有机物化学气相沉积设备，包括：反应腔、喷淋口、衬底载片台、石墨盘、电极，其特征在于在金属有机物化学气相沉积设备的喷淋口上增设上电极，在石墨盘侧边或底边增设下电极，上电极与下电极构成平板电容结构，形成垂直于...
- 甘志银王亮胡少林陈倩翌朱海科严晗
- 文献传递
- 气相沉积设备反应腔的加热系统
- 一种气相沉积设备反应腔的加热系统，包括气体A、气体B进气管道、缓冲腔、喷淋口、反应室、基座、石墨舟、加热器、排气管道，其特征在于所述加热器内的加热片位于加热片支撑盘上，其一端分别经地线电极连接柱、地线盘、地线导电支撑柱、...
- 甘志银胡少林王亮陈倩翌刘胜
- 文献传递
- 基于单片机的双波长红外测温结构设计
- 2012年
- 为了解决双波长测温不同波长的变换和精确定位测量的问题,设计了一种基于单片机的变换结构,利用电机匀速反馈控制电路和单片机周期捕获功能,准确跟踪和定位采样位置。基于这种结构提出了一种双波长测温法的暗电流电压修正方法,大大提高了测量的精度。通过实验使用设计的测量结构拟合出双波长温度测量函数,测量精度在1℃之内。
- 关国坚甘志银
- 关键词：反馈控制单片机
- 一种微波等离子体化学气相沉积装置
- 本发明公布了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括上部腔体、下部腔体、中心轴、样品台、密封绝缘件、绝缘支撑件、进气口和出气口。中心轴设置在反应腔上方，并和反应腔形成微波馈入的同轴波导。设置在反应腔下方的样品台用于放置衬底...
- 刘胜沈桥甘志银
- 文献传递
- 一种基于飞秒激光辅助的半导体材料外延生长方法和装置
- 本发明涉及一种基于飞秒激光辅助的半导体材料外延生长方法和装置，所述方法在半导体材料外延生长初期，通过飞秒激光在线制备图形化衬底；在半导体材料外延生长过程中，通过飞秒激光改变生长原子的动力学特性，提高生长原子的表面迁移距离...
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- 电阻加热器
- 本实用新型涉及一种电阻加热器，包括电阻片加热区和电阻丝加热区，电阻片加热区在电阻丝加热区内侧。本实用新型具有加热效率高和可靠性好的优点。
- 沈桥甘志银刘胜
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- 输送载片盘用抓取装置
- 本发明公开了一种用于化学气相沉积设备的载片盘输送的抓取装置，主要包括底座、导杆、回转臂、机械手。本发明的输送载片盘用抓取装置，通过周向均匀吊装载片盘方式使载片盘周向受力更为均匀，保证载片盘及载片盘中的晶圆片的平稳输送，另...
- 许福海王亮王明星甘志银
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- 一种红外加热片
- 本实用新型涉及一种红外加热片，包括火线电极、地线电极以及加热片主体，所述加热片主体的形状为波浪形状。本实用新型具有对高温热冲击和热循环有良好的抵抗能力，可靠性高，寿命长的优点。
- 甘志银胡少林陈倩翌严晗王亮
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- 生产型金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备
- 甘志银刘胜罗小兵黄德修胡少林严晗王亮甘长银李志华郭亮梁凤仪潘铭坚万小承沈桥刘宇峰孙方汪沛张荣军陈倩翌朱海科汪学方张鸿海陈明祥
- 2012年12月27日，广东省科技厅在佛山市组织并主持召开了由广东昭信半导体装备制造有限公司、华中科技大学和广东昭信企业集团有限公司联合研发的“生产型金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备”科技成果鉴定会。鉴定委员会听...
- 关键词：
