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应用材料以色列公司

作品数：287 被引量：0H指数：0
相关机构：应用材料股份有限公司代尔夫特理工大学卡尔蔡司显微镜有限责任公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学理学更多>>

合作机构

文献类型

  • 287篇中文专利

领域

  • 79篇自动化与计算...
  • 9篇电子电信
  • 8篇文化科学
  • 5篇机械工程
  • 5篇理学
  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇电气工程
  • 2篇轻工技术与工...
  • 1篇经济管理

主题

  • 89篇图像
  • 77篇半导体
  • 34篇电子束
  • 31篇光学
  • 25篇计算机
  • 22篇晶片
  • 19篇介质
  • 17篇电粒子
  • 16篇照射
  • 15篇散射
  • 15篇图案
  • 15篇处理器
  • 14篇带电粒子
  • 14篇结构元件
  • 14篇标签
  • 13篇物镜
  • 13篇基板
  • 13篇参考图
  • 13篇参考图像
  • 11篇训练集

机构

  • 287篇应用材料以色...
  • 16篇应用材料股份...
  • 6篇代尔夫特理工...
  • 2篇卡尔蔡司显微...
  • 1篇卡尔蔡司SM...

年份

  • 55篇2024
  • 51篇2023
  • 40篇2022
  • 32篇2021
  • 21篇2020
  • 13篇2019
  • 9篇2018
  • 2篇2017
  • 8篇2016
  • 3篇2015
  • 4篇2014
  • 2篇2013
  • 7篇2012
  • 5篇2011
  • 8篇2010
  • 4篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
  • 12篇2006
  • 8篇2005
共 287 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
具有多检测器的扫描电子显微镜和基于多检测器成像方法
本发明公开了一种使用多个检测器(14，40)检测电子的方法和系统，所述方法包括下述步骤：引导原电子束通过一柱(column)以接触被检测对象(晶元)；通过引入强静电场，将由被检测对象(晶元)反射或散射的电子引向多个内部检...
德罗尔·塞梅斯帕维尔·阿达梅克
文献传递
具有多检测器的扫描电子显微镜和基于多检测器成像方法
本发明公开了一种使用多个检测器(14，40)检测电子的方法和系统，所述方法包括下述步骤：引导原电子束通过一柱(column)以接触被检测对象(晶元)；通过引入强静电场，将由被检测对象(晶元)反射或散射的电子引向多个内部检...
德罗尔·塞梅斯帕维尔·阿达梅克
文献传递
用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法
一种清洁度监测器、一种评估系统和一种方法。清洁度监测器可包括：第一真空腔室、第二真空腔室、分子收集器、释放单元、质谱仪、可经配置以使分子收集器从第一位置移动至第二位置的操纵器、以及分析仪。质谱仪可具有至第二真空腔室的内部...
I·罗阿克-尼尔M·雅各布-埃隆G·埃坦M·Y·舒尔曼S·鲁尔M·拉狄克I·克雷维茨
半导体样本中的局部形状偏差
提供了一种检测半导体样本中的结构元件的局部形状偏差的方法的系统和方法，包括：获得包括所述结构元件的图像表示的图像；从所述图像中提取所述图像表示的实际轮廓；估计指示所述结构元件的标准形状的所述图像表示的参考轮廓，其中所述参...
R·克里斯I·本-哈鲁斯R·比斯特里泽V·维利沙金E·萨默G·克列巴诺夫A·塔马拉塞里J·A·杰瓦G·D·古特曼E·弗莱施曼S·列文
用于查验半导体试样的形状定位
提供了一种查验包括第一层和第二层的试样的系统和方法。所述方法包括：获得配方，所述配方包括用于参考图像中的每个参考多边形的模板图像和指示所述模板图像中的一组位置与所述参考多边形的边缘的接近度的模板掩模；运行时获得检查图像；...
吉拉德·维雷德德罗·阿卢莫特乌里·哈达尔埃尔兰·甘佐
用于半导体样本制造的掩模检查
本申请公开了用于半导体样本制造的掩模检查。提供了一种用于掩模检查的系统和方法，包括：获得多个图像，每个图像表示所述掩模的相应部分；生成所述掩模的CD图，包括分别从所述多个图像导出的POI的CD测量的多个合成值，对于每个给...
R·麦德蒙A·什卡利姆S·本雅科夫
生成可用于检查半导体样本的训练集
提供了一种生成用于训练可用于样本检查的深度神经网络的训练集的系统和方法。方法包括：针对组中的每个给定训练图像：i)生成第一批训练面片，包括：将给定训练图像裁剪成第一多个原始面片；以及扩充第一多个原始面片中的至少一部分以便...
E·本巴鲁克S·埃尔卡亚姆S·科恩T·本-什洛莫
检查样本的方法和其系统
提供了一种用于检查样本的系统、方法和计算机可读介质，所述方法包括：从检验工具接收的潜在缺陷群组中选择的审查子集获得关注缺陷(DOI)和错误报警(FA)，每个潜在缺陷与属性值相关联，所述属性值定义潜在缺陷在属性空间中的位置...
尤塔姆·索弗肖尔·恩格勒波阿斯·科恩萨尔·沙比阿米尔·巴尔马塞洛·加布里埃尔
文献传递
使用弱标记检测半导体试样中的缺陷
公开了使用弱标记检测半导体试样中的缺陷。公开了一种对半导体试样上的感兴趣图案(POI)进行分类的系统，所述系统包括处理器和存储器电路，所述处理器和存储器电路被配置为：获得所述POI的高分辨率图像，并且根据缺陷相关分类生成...
I·皮莱格R·施莱恩B·科恩
使用受控制的照明和收集偏振的光学检查
一种光学检查系统，可包括：照明光学器件，所述照明光学器件被配置为产生照明光束，以及用所述照明光束照明样品；至少一个收集光学器件，所述至少一个收集光学器件被配置为收集来自所述样品的光；至少一个检测器，所述至少一个检测器被配...
E·埃兹内A·肖汉姆
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