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北京科益虹源光电技术有限公司
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一种用于准分子激光器的脉冲能量测量电路
本实用新型涉及准分子激光器技术领域,提供了一种用于准分子激光器的脉冲能量测量电路,该电路包括:转换模块,将待测激光脉冲信号转换成电信号,并将电信号分成待测电信号和控制待测电信号宽度的控制电信号后输出;滤波模块,与转换模块...
殷青青
韩晓泉
刘广义
江锐
杨军红
张华
李亚飞
冯泽斌
赵江山
文献传递
一种适用于激光器放电腔的钝化方法和钝化装置
本发明提供了一种适用于准分子激光器放电腔的钝化方法及装置。该方法包括:S1,将放电腔的温度升至第一温度,并维持该第一温度以对放电腔进行烘烤;S2,对放电腔进行抽真空以使得放电腔内的杂质气体被排出;S3,向放电腔内充入钝化...
沙鹏飞
杨军红
熊光亮
贺跃坡
韩晓泉
宋兴亮
陈刚
冯泽斌
丁金滨
刘斌
辛茗
文献传递
激光器的气体控制方法及激光器
本申请实施例提供一种激光器的气体控制方法及激光器。在本申请实施例中,在激光器正常放电进行出光的过程中,获取激光器的出光电压以及激光器的放电能量变化量;根据出光电压和/或放电能量变化量,确定是否对激光器的腔体中的工作气体进...
张华
梁赛
冯泽斌
江锐
徐向宇
带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器
本实用新型公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块,包括棱镜组,用于将放电腔荧光进行反射,产生反射荧光;光电二极管,用于接收所述反射荧光,并对反射荧光进行响应;光示波器,与所述光电二极管连接,用于观测光电二极管信号强度;角度...
王倩
李少华
赵江山
周翊
吴劲松
辛茗
江锐
杨军红
文献传递
脉冲供电电源及其准分子激光器
本发明公开了一种脉冲供电电源及相应的准分子激光器。该脉冲供电电源包括第一供电模块、第二供电模块、快速响应模块、高压模块、第一储能电容、第二储能电容、电流采样模块、第一电压采样模块和第二电压采样模块。本发明在现有技术的基础...
张兵
徐向宇
曹沛
袁钊
江锐
一种扩束棱镜组的精确定位装置
本实用新型涉及一种扩束棱镜组的精确定位装置,所述扩束棱镜组的精确定位装置用于对扩束棱镜组进行定位,以辅助所述扩束棱镜组的棱镜的安装,所述扩束棱镜组的精确定位装置包括工装底板和垂直设置于所述工装底板的多个导柱,所述工装底板...
魏晨静
薛宇豪
常明
李耀晖
胡艳波
吕成伟
准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路及系统
本公开提供了准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制电路及系统,包括:脉冲隔离电路,用于将外部输入TTL脉冲触发信号转换成陡脉冲沿,将高压脉冲电源的前级脉冲产生电路与固态开关隔离;脉冲整形电路,用于接收所述陡脉冲沿输入,进...
曹沛
徐向宇
江锐
袁钊
李学
张兵
文献传递
基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法及装置
本发明涉及激光器波长检测领域,具体涉及一种基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法及装置。该方法及装置将可调谐激光器发射出的激光分离出一部分;对该一部分激光进行绝对校准,计算出校准波长的λ<Sub>0</Sub>、T<Su...
李亚飞
刘广义
江锐
韩晓泉
殷青青
沙鹏飞
冯泽斌
文献传递
一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置
本发明提出一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置,使用参考激光器对FP标准因为温度压力等变化引起的漂移进行实施反馈,解决了FP标准具测量激光器中心波长的漂移问题,提高了激光器中心波长的精度和稳定度。
刘广义
韩晓泉
沙鹏飞
丁金滨
李亚飞
周翊
赵江山
江锐
电源组件及电镀电源
本实用新型公开了一种电源组件,包括电子电力器件、第一水冷散热结构和第二水冷散热结构,第一水冷散热结构和第二水冷散热结构之间设置有第一风道,电子电力器件设置在形成第一风道的两侧,以使第一风道、第一水冷散热结构和第二水冷散热...
李少华
许泽
白小亮
郭力
揭楚敏
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