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川崎机器人(美国)有限公司
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37
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川崎重工业株式会社
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文化科学
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机构
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川崎重工业株...
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机器人
机器人具备:机器人臂;多层的手,其包括设置于机器人臂的末端的第1手和第2手;第1直接驱动马达,其旋转轴线规定在机器人臂的末端,将第1手能够以旋转轴线为中心旋转地连结于机器人臂的末端;以及第2直接驱动马达,其将第2手能够以...
吉田哲也
阿维什·阿肖克·巴瓦尼
文献传递
机器人的示教方法及机器人
机器人的示教方法包括如下步骤:摆动步骤,使手绕位于与感测光束的光轴正交的轴上的规定的旋转轴摆动,以利用感测光束在水平方向对目标进行扫描;判定步骤,根据藉由使手摆动而变化的映像传感器(12)的检测信号,判定目标是否与沿手的...
中矢敦史
山口隆生
中原一
陈甘源
基板搬运机器人和自动示教方法
一种基板搬运机器人和自动示教方法,本发明的基板搬运机器人(1)在机械手设置第1和第2传感器(20、30),使得在俯视视角中射出的检测光的光轴的俯视交点(LC)位于由上述机械手(14)保持基板(S)的情况下的上述基板的规定...
吉田雅也
中原一
汤运欣
机器人系统以及滑动判定方法
一种机器人系统,其具备机器人以及控制部。所述机器人具有通过电动马达驱动的一个以上的关节,且能够通过保持部保持晶圆。所述控制部对所述机器人发出指令进行控制。在所述机器人通过所述保持部保持所述晶圆进行运送的情况下,所述控制部...
吉田雅也
阿维什·阿肖克·巴瓦尼
西蒙·杰亚普兰
基板移载装置及其控制方法
基板移载装置的控制方法包含:使保持有基板的基板保持手向规定在对准器周围的规定的准备位置移动;使基板保持手向规定在对准器的规定的载置位置移动,而将基板向对准器的旋转台移载;一边使基板保持手在规定在比准备位置靠近载置位置的位...
吉田哲也
阿维什·阿肖克·巴瓦尼
曾铭
文献传递
基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法
基板搬运机器人(20)具备:基台(21),其设置于搬运室(1)内;机械臂(23),其具有在水平面内转动的多个连杆(24~26),并与基台连结;第一机械手(31)和第二机械手(32),它们与机械臂的前端部连结为能够绕铅垂的...
松冈淳一
仓田伊织
在田智一
文献传递
晶圆夹具、机器人系统、通讯方法以及机器人教示方法
一种晶圆夹具,用于具有手部的机器人,该手部具有投光部以及受光部。所述受光部检测从所述投光部照射的检测光。晶圆夹具具备朝所述受光部照射通知光的光源。通过所述光源朝所述受光部照射所述通知光,而对所述手部侧输出信息。
吉田雅也
中原一
机器人的示教方法及机器人
机器人的示教方法包括如下步骤:摆动步骤,使手绕位于与感测光束的光轴正交的轴上的规定的旋转轴摆动,以利用感测光束在水平方向对目标进行扫描;判定步骤,根据藉由使手摆动而变化的映像传感器(12)的检测信号,判定目标是否与沿手的...
中矢敦史
山口隆生
中原一
陈甘源
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机器人
机器人具备:机器人臂;多层的手,其包括设置于机器人臂的末端的第1手和第2手;第1直接驱动马达,其旋转轴线规定在机器人臂的末端,将第1手能够以旋转轴线为中心旋转地连结于机器人臂的末端;以及第2直接驱动马达,其将第2手能够以...
吉田哲也
阿维什·阿肖克·巴瓦尼
基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法
本发明的靶体的边缘位置示教方法包含:光电传感器的光轴向规定的初始位置移动,该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的靶体的边缘靠外侧、且比靶体靠上方或下方的位置;直到由光电传感器检测到靶体的边缘位置,反复进行光轴...
吉田哲也
汤运欣
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