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国家重点基础研究发展计划(2007CB935302)

作品数:17 被引量:72H指数:5
相关作者:谢常青朱效立刘明马杰陈宝钦更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院安徽大学更多>>
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领域

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资助

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地区

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44 条 记 录,以下是 1-10
谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 MM 衍射效率 透射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈军宁
供职机构:安徽大学
研究主题:反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 裕度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹磊峰
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:波带片 单级 衍射光栅 软X射线 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张庆钊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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