北京市自然科学基金(2021001)
- 作品数：7 被引量：2H指数：1
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- 快速热化学沉积工艺条件对制备多晶硅薄膜的影响
- 2005年
- 选用Al2O3陶瓷作为衬底,采用快速热化学法沉积多晶硅薄膜.实验研究了温度对薄膜生长的影响,结果表明,硅层的沉积速率随着温度升高而加快,并逐渐趋向1个稳定值.晶粒尺寸也随着温度升高而增大,在温度达到1000℃后保持不变.在此硅薄膜上,采用磷扩散掺杂,制备出太阳能电池器件,并且分析了掺杂量对电池效果的影响.
- 万之坚李海峰黄勇张厚兴张立明许颖王文静
- 关键词：太阳电池多晶硅薄膜
- 陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响
- 2005年
- 通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.
- 李海峰黄勇万之坚张厚兴张立明许颖王文静
- 关键词：多晶硅薄膜太阳能电池
- 陶瓷衬底薄膜太阳能电池的制备
- 2005年
- 详细分析了陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池在制备过程中由于衬底的引入而导致一系列问题,比如衬底杂质含量过高、热膨胀系数等热力学参数和硅不匹配、沉积过程中杂质扩散以及晶体学参数不匹配导致沉积的硅薄膜晶粒不能长大等.针对衬底可能导致的不利因素给出了解决办法,同时进一步用实验验证了工艺的可行性.
- 张立明李海峰黄勇张厚兴万之坚许颖王文静
- 关键词：太阳能电池
- 薄膜太阳能电池的研究进展被引量：2
- 2005年
- 第二代薄膜电池有希望能大幅度降低电池的成本,真正实现太阳能电池的大规模应用.本文详细介绍了第二代薄膜电池的分类、制备工艺以及研究现状等.
- 张厚兴黄勇李海峰万之坚张立明
- 关键词：染料敏化多晶硅薄膜薄膜电池
- 多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺
- 2005年
- 研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.
- 张立明李海峰黄勇张厚兴万之坚许颖王文静
- 关键词：多晶硅薄膜太阳能电池
- 多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备
- 2005年
- 采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.
- 李海峰黄勇万之坚张厚兴张立明许颖王文静
- 关键词：薄膜电池
- 陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺
- 2005年
- 为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜和表面电极引出的问题,实验取得了令人满意的结果.
- 万之坚李海峰黄勇张厚兴张立明许颖王文静
- 关键词：多晶硅薄膜电池
