国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ15004003)
- 作品数:2 被引量:5H指数:1
- 相关作者:陶春先张大伟洪瑞金黄元申何梁更多>>
- 相关机构:上海理工大学更多>>
- 发文基金:上海市教育委员会重点学科基金国家重大科学仪器设备开发专项国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学机械工程更多>>
- 旋涂法和热蒸发制备紫外CCD用晕苯薄膜的性能对比被引量:4
- 2014年
- 晕苯是一种用于真空紫外光致发光重要的下转换材料。本文研究旋涂法和热蒸发法制备紫外CCD用晕苯薄膜的工艺方法,并对所制备的两种薄膜的性能进行了表征和对比。测试结果表明:旋涂方式成膜工艺简单,材料利用率较高,并且保持了荧光材料本身固有的晶体结构,但是膜面粗糙度较大;热蒸发方式成膜后紫外吸收较强,荧光发射强度相对较高,成膜后膜面粗糙度较小;热蒸发工艺在加热过程中改变了晕苯的晶体结构并形成了新的结晶态;相比于旋涂法,热蒸发的整个制备工艺相对复杂,并且生产成本较高。此外,该对比性研究工作为实现不同要求(如荧光发射强度、表面粗糙度、生产成本等)的荧光下转换薄膜的制备提供了理论指导。
- 何梁张大伟陶春先洪瑞金黄元申
- 关键词:旋涂法热蒸发
- 离子束辅助及退火后处理对氦-镉激光器反射镜输出功率的影响被引量:1
- 2013年
- 为了制备高输出功率的441.6nm氦-镉激光反射镜,研究了氧离子束辅助工艺及退火后处理对ZrO2单层膜及441.6nm氦-镉激光器ZrO2/SiO2反射膜的影响。利用紫外-可见分光光度计测试了薄膜样品的反射光谱及吸收光谱;通过原子力显微镜测试了薄膜表面的粗糙度。测量及分析结果表明:氧离子束辅助沉积能够提高激光反射镜的反射率并形成致密的薄膜结构,但是由于引入的杂质缺陷提高了薄膜的吸收率从而使得激光的输出功率变小;退火处理消除了吸附于薄膜表面的杂质气体、水分,输出功率相比于退火前有了大幅度的提高。
- 崔潇陶春先洪瑞金张大伟
- 关键词:激光反射镜输出功率离子束辅助