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上海市自然科学基金(10ZR1415500)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：万镇张运奎刘武张卫平崔峰更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
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相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电路设计
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微加速度计
  • 1篇机电系统
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇测控
  • 1篇测控电路
  • 1篇差分电容
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇崔峰
  • 1篇张卫平
  • 1篇刘武
  • 1篇张运奎
  • 1篇万镇

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
非硅MEMS电容式微加速度计的测控电路设计
2012年
为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波以及电平转换电路组成,反馈通道由低通滤波和加法电路组成。完成了微加速度计测控电路的调试和检测通道的标定实验,实验表明:检测通道的量程约为±6 pF,灵敏度为89.3 mV/pF,线性度为2.59%,满足加速度计检测通道的要求。
张运奎崔峰万镇刘武张卫平
关键词：微机电系统微加速度计差分电容测控电路
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