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贵州省社会发展科技攻关计划项目(SY[2010])
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
陈雨青
王代强
刘桥
姚祖铭
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相关机构:
贵阳学院
贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
贵州大学
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发文基金:
贵州省社会发展科技攻关计划项目
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相关领域:
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姚祖铭
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刘桥
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王代强
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陈雨青
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传感技术学报
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2013
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硅基AlN椭圆形IDT-SAW滤波器的设计
被引量:3
2013年
在已知的压电材料中,AlN薄膜的声表面波传播速度是最快的。采用硅基AlN薄膜作为压电材料,利用变迹加权的方法来优化设计IDT,改进型δ函数模型为椭圆形结构IDT的建模工具。通过建模仿真并根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,在实验室制作了中心频率为300MHz,带内插损11dB的SAW带通滤波器样品,测试结果表明其仿真结果与试验结果一致性较好,具有实际应用意义。
王代强
陈雨青
姚祖铭
刘桥
关键词:
滤波器
插入损耗
ALN薄膜
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