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中国博士后科学基金(2013M540744)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：徐维王忆朱铭佳李阳陈奎更多>>
相关机构：五邑大学西安交通大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金江门市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束光刻
  • 1篇有机发光
  • 1篇有机发光二极...
  • 1篇紫外纳米压印
  • 1篇微结构
  • 1篇纳米压印
  • 1篇光刻
  • 1篇二极管
  • 1篇发光
  • 1篇发光二极管
  • 1篇OLED
  • 1篇EBL

机构

  • 1篇西安交通大学
  • 1篇五邑大学

作者

  • 1篇梁景生
  • 1篇陈奎
  • 1篇李阳
  • 1篇朱铭佳
  • 1篇王忆
  • 1篇徐维

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
紫外纳米压印OLED衬底微结构的模板制备
2013年
采用紫外纳米压印工艺,在有机发光二极管(OLED)衬底上制备三维立体微结构,可以有效提高器件的出光效率,增加器件发光亮度。而有效实施纳米压印工艺的先决条件是纳米压印模板的制备。首先在沉积有金属Cr薄膜阻挡层(厚度为20 nm)的石英基片上旋涂一层电子敏感光刻胶,然后通过电子束光刻(EBL)技术进行曝光、显影,在光刻胶上形成三维纳米微结构图案。再利用反应离子刻蚀技术和湿法腐蚀技术相结合的方法进行图形的转移,将光刻胶上的纳米微结构转移至石英基片上。通过以上方法制备的纳米压印模板,其微结构具有较好的分布均匀性,可以满足紫外纳米压印技术制备微结构的工艺要求。
李阳徐维王忆陈奎朱铭佳潘雅雯梁景生
关键词：紫外纳米压印微结构
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