浙江省自然科学基金(Y4080171)
- 作品数:2 被引量:3H指数:1
- 相关作者:邱东江吴惠桢朱夏明王雄原子健更多>>
- 相关机构:浙江大学更多>>
- 发文基金:浙江省自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学更多>>
- 氧化锌锡薄膜晶体管的研究被引量:2
- 2011年
- 在ITO玻璃基底上用射频磁控溅射技术生长氧化锌锡(ZnSnO)沟道有源层、用PECVD生长SiO2薄膜作为薄膜晶体管的栅绝缘层研制了薄膜晶体管(TFT),器件的场效应迁移率最高达到μn=9.1cm2/(V·s),阈值电压-2V,电流开关比为104.
- 王雄才玺坤原子健朱夏明邱东江吴惠桢
- 关键词:薄膜晶体管场效应迁移率
- 以表面等离子体为媒介的ZnO薄膜发光增强特性研究被引量:1
- 2011年
- 采用两步法制备Si基Ag/ZnO双层结构薄膜,研究了Ag覆盖层的厚度和生长温度T对ZnO近带边发光强度的影响.对于厚度为100nm的ZnO薄膜,发现Ag覆盖层的最佳厚度仅为8nm,此时双层薄膜相对于单层ZnO薄膜的发光增强因子η达到最大值8.1;同时还发现,在最佳Ag层厚度下,生长温度T≥300℃时生长Ag所获Ag/ZnO双层薄膜的ZnO发光强度比生长温度T≤200℃时生长的双层薄膜样品大一倍以上,η≈18.结合对双层薄膜表面形貌的测量,发现高生长温度下得到的双层薄膜样品的高η值可归因于高表面粗糙度导致高的外量子效率.
- 邱东江范文志翁圣吴惠桢王俊
- 关键词:表面等离子体共振