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教育部基金(01060)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇功能材料
  • 2篇硅
  • 2篇MEMS

机构

  • 2篇福州大学

作者

  • 2篇王灵婕
  • 2篇林吉申

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 2篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
功能材料在MEMS中的应用及进展
以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统。本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最...
王灵婕林吉申
关键词：MEMS硅
文献传递
功能材料在MEMS中的应用及进展
2004年
以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.
王灵婕林吉申
关键词：MEMS硅
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