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国家重点基础研究发展计划(2004CB318007)

作品数:6 被引量:43H指数:4
相关作者:朱煜李恒贾松涛程嘉聂洪玮更多>>
相关机构:清华大学更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇等离子体
  • 2篇感应耦合
  • 2篇感应耦合等离...
  • 1篇电子温度
  • 1篇运动轨迹规划
  • 1篇支链
  • 1篇冗余
  • 1篇冗余并联
  • 1篇冗余并联机构
  • 1篇冗余驱动
  • 1篇特性分析
  • 1篇气浮导轨
  • 1篇扰动观测器
  • 1篇流场
  • 1篇结构优化
  • 1篇精密工作台
  • 1篇观测器
  • 1篇REDUND...
  • 1篇SPACE
  • 1篇STRATE...

机构

  • 5篇清华大学

作者

  • 4篇朱煜
  • 2篇程嘉
  • 2篇贾松涛
  • 2篇李恒
  • 1篇汪劲松
  • 1篇段广洪
  • 1篇尹文生
  • 1篇王春洪
  • 1篇杨开明
  • 1篇刘大炜
  • 1篇王立平
  • 1篇聂洪玮

传媒

  • 2篇Journa...
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇组合机床与自...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇Chines...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2008
  • 3篇2007
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
超精密工作台运动轨迹规划被引量:11
2007年
文章详细讨论了现有的各种S形轨迹规划方法,在综合比较各种设计方法优缺点的基础上,采用最小冲击准则,并结合超精密加工领域轨迹运动特点,提出了一种新的S形轨迹优化设计方法。并基于粗精动结合的单自由度精密工作台,对所设计的轨迹进行了实验验证。实验结果表明该方法能够满足超精密加工领域中高速高加速运动轨迹设计的要求,有效的提高了系统的抗扰动性能,改善了工作台的轨迹跟踪精度,提高了工作台的定位精度和效率。
贾松涛朱煜尹文生李恒聂洪玮
基于回归正交设计的ICP刻蚀机工艺腔室流场特性分析被引量:4
2008年
为研究感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机工艺腔室结构对流场特性的影响,采用回归正交设计方法对腔室半径、腔室高度、进气口半径以及进气流量4个设计参数进行试验设计,利用商业软件CFD-ACE+建立ICP刻蚀机工艺腔室二维流场仿真模型.定义了静电卡盘上方气压分布均匀性评价函数,通过对试验结果的回归分析,确定了关键参数对气压分布均匀性影响程度的定量关系,并由此建立了拟合度较高的二次回归方程.结果表明腔室高度为最显著影响因素.经过验证可见,回归方程的计算结果与仿真分析结果保持了较高的一致性,可以为结构与工艺条件相近的刻蚀机、化学气相沉积(CVD)设备以及氧化/扩散系统的结构研究与设计提供参考.
程嘉朱煜段广洪王春洪
关键词:感应耦合等离子体
精密工作台扰动观测器的设计被引量:11
2007年
针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工作台的定位精度、减小轨迹跟踪误差,采用扰动观测方法,基于直线电机精密工作台设计了前馈+反馈+扰动观测的控制器。详细讨论了扰动观测器的设计方法。实验结果表明,采用扰动观测器后,实现了±0.15μm的静态定位精度,以150 mm/s匀速运动时轨迹跟踪精度保持在±1.5μm的误差带范围内。扰动观测器能够有效地抑制低频噪声和克服参数变化的不利影响。
贾松涛朱煜杨开明李恒
关键词:精密工作台扰动观测器气浮导轨
基于工作空间的4RRR冗余并联机构支链优化被引量:10
2010年
工作空间分析是机构设计及运动控制的基础,传统的分析方法限于理论计算,缺乏对机器实际安装效果的研究。该文基于运动学模型及支链运动约束方程,完成了一个4RRR冗余并联机构的支链优化设计。利用Newton-Raphson法和D-H法得到机构的运动学正解和逆解方程,通过分析机构全部5种支链构型下的运动约束,结合运动学模型得到各种构型下的实际工作空间,并依此得到了该4RRR机构的最优支链构型。研究表明:在机构运动学模型中添加构件运动约束方程,能模拟机构的真实运动,其工作空间的分析结果能够用于机构实际安装形式的优化,该方法是对传统的并联机构支链优化方法的有益补充。
刘大炜王立平
关键词:并联机构冗余驱动结构优化
感应耦合等离子体刻蚀机二维放电模拟被引量:5
2007年
为研究感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机腔室与线圈结构以及工艺参数对等离子体分布均匀性的影响,基于商业软件CFD-ACE+中等离子体与电磁场等模块建立了ICP刻蚀机二维放电模型.仿真研究了典型工艺条件(1.33Pa,200W,200sccm)下氩等离子体电子温度与电子数密度的空间分布,对比了不同气压与功率条件下等离子体参数在硅片表面的一维分布.结果表明,电子数密度随气压与功率的增加而升高;电子温度随气压的增加而降低,随功率增加在较小范围内先降低再升高.通过分析屏蔽板对等离子体参数的影响,发现其有助于提高等离子体密度.进而发现屏蔽板的孔隙率越大,电子温度越高,电子数密度则越低.
程嘉朱煜汪劲松
关键词:感应耦合等离子体电子温度
Homing Strategy for a 4RRR Parallel Kinematic Machine被引量:2
2011年
Returning home is the most important process of a parallel kinematic machine (PKM) with incremental encoders.Currently,most corresponding articles focus on the accuracy of homing process,and there lacks the investigation of the operation's safety.For a 4RRR PKM,all servoaxes would be independently driven to their zero positions at the same time based on the traditional homing mode,and that can bring serious interfere of the kinematic chains.This paper systemically investigates this 4RRR PKM's safety of homing process.A homing strategy usually contains three parts which are the home switches' locations,the platform's initial moving space,and each links' homing direction,and all of them can influence the safety of homing operation.For the purpose of evaluating and describing the safety of the homing strategy,some important parameters are introduced as follows:Safely homing ratio (SHR) is used to evaluate the probability of a machine's successfully returning home from an initial moving space;Synchronal rotational angle (SRA) is the four links' largest synchronal rotational angle with given directions from a given pose.Whether a machine can safely return home from a given pose can be judged by comparing the SRA with all four home switches' mounting angles.By meshing the initial moving space and checking the safeties of returning home from all the initial poses on the nodes,the SHR of this initial moving space can be calculate.For the sake of convenience,the platform's initial moving space should be as large as possible,and in this 4RRR PKM,a square zone in the center of the workspace with a giving initial rotation range is selected as the platform's initial moving space.The forward direction is selected as each link's homing direction according to custom,and the platform's initial rotational angle is selected as larger than 0° based on this 4RRR PKM's kinematic characteristics.The platform's initial moving space can be defined only by the side length of the initial moving sq
WANG Liping LIU Dawei LI Tiemin
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