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国家杰出青年科学基金(19525409)
作品数:
1
被引量:2
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相关作者:
王贤仁
陈益栋
刘兴权
陆卫
乔怡敏
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2000
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GaAs和AlGaAsMBE外延生长动力学研究
被引量:2
2000年
研究了在GaAs(001)衬底上外延生长GaAs、AlGaAs材料过程中反射高能电子衍射(RHEED)的各级条纹及其强度随生长过程的变化.通过对各级条纹强度振荡周期和位相的分析,应用二维成核层状生长模型解释了实验结果:生长表面形貌的周期性变化导致了RHEED各级条纹及其强度的周期性变化.
陈益栋
刘兴权
陆卫
乔怡敏
王贤仁
关键词:
分子束外延
砷化镓
半导体
ALGAAS
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