国家重点实验室开放基金(50240420656)
- 作品数:3 被引量:16H指数:2
- 相关作者:陈敏黄永刚李长敏张庆瑜黄英更多>>
- 相关机构:大连轻工业学院大连理工大学中国建筑材料科学研究院更多>>
- 发文基金:国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域:化学工程电子电信更多>>
- 磁控溅射制备TiO_2薄膜的亲水性能研究被引量:3
- 2004年
- 用射频磁控溅射法在玻璃基片上制备TiO2 薄膜 ,并分别在 30 0℃、4 0 0℃、5 0 0℃下进行热处理。用紫外吸收光谱、原子力显微镜 (AFM)、接触角测定等分析方法研究了制备工艺、热处理和紫外光照射时间对薄膜表面亲水性的影响。结果表明 ,经紫外光照射或热处理后的TiO2 薄膜表面表现出明显的超亲水性 ,而制备工艺的变化对亲水性的影响不明显。光谱、AFM分析表明 ,导致薄膜表面亲水性的原因在于薄膜表面微结构的变化。
- 黄永刚陈敏李长敏张庆瑜
- 关键词:TIO2薄膜磁控溅射原子力显微镜半导体薄膜材料
- 基片温度对TiO_2薄膜表面形貌和性能的影响被引量:12
- 2006年
- 利用射频磁控溅射设备在玻璃基片上制备TiO2薄膜,采用AFM、UV-Vis分光光度、接触角测定仪等测试手段,研究基片温度对薄膜表面形貌、粗糙度和表面性能的影响。结果表明,随着基片温度增加,薄膜表面粗糙度增大,薄膜中颗粒由无定形态逐渐向定向排列的晶态转变,而薄膜结构、表面形貌和粗糙度的变化明显影响薄膜表面性能。最后,探讨了薄膜的生长机理。
- 黄永刚陈敏李长敏张庆瑜黄英
- 关键词:TIO2薄膜基片温度原子力显微镜表面形貌表面性能
- 磁控溅射制备TiO_2薄膜的抗凝血性能被引量:1
- 2007年
- 用射频磁控溅射法在生物玻璃基片上沉积TiO_2薄膜。通过研究基片温度和热处理对薄膜表面抗凝血性能的影响,比较了基片沉积薄膜前后抗凝血性能的变化,结果发现,在基片温度为500℃制得的TiO2薄膜的抗凝血性能较好,而导致薄膜表面抗凝血性能变化的主要原因在于薄膜表面能、表面结构和形貌的变化。
- 黄永刚陈敏李长敏张庆瑜唐立
- 关键词:TIO2薄膜磁控溅射抗凝血性能