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中央高校基本科研业务费专项资金(CZW2014019)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：汪浩孙奉娄杨春勇顾锦华钟志有更多>>
相关机构：中南民族大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇溅射
  • 1篇TI
  • 1篇ZNO
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中南民族大学

作者

  • 1篇侯金
  • 1篇钟志有
  • 1篇顾锦华
  • 1篇杨春勇
  • 1篇孙奉娄
  • 1篇汪浩

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
钛掺杂对ZnO∶Ti透明导电薄膜性能的影响被引量：7
2014年
以不同钛掺杂含量的氧化锌陶瓷靶作为溅射源材料,采用射频磁控溅射工艺在玻璃基片上沉积了Ti掺ZnO(TZO)透明导电薄膜,通过XRD、XPS、分光光度计和霍尔效应测试系统,研究了钛掺杂含量对TZO薄膜微观结构和光电特性的影响。结果表明:所有TZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且具有(002)择优取向,钛掺杂含量对薄膜性能具有明显的影响。当钛掺杂含量为3wt%时,TZO薄膜的结晶质量最好、可见光平均透过率最高、电阻率最低、品质因数最大(748.15 S/cm),具有最佳的光电综合性能。TZO薄膜的光学带隙随钛掺杂含量增加而单调增大。
顾锦华汪浩兰椿钟志有孙奉娄杨春勇侯金
关键词：磁控溅射透明导电薄膜
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