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博士科研启动基金(BS183)

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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇动力学
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作者

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传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2009
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排序方式：
斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟
2009年
采用分子动力学(MD)模拟方法,从原子尺度上研究了离子束辅助沉积(IBAD)类金刚石(DLC)薄膜过程中离子束入射角对薄膜结构的影响.重点讨论了不同的离子束入射角所对应的薄膜表面模型,平均密度和sp3键含量.结果表明,离子束斜入射加强了入射原子的水平动能,从而加强了原子水平迁移;Ar离子斜入射时C原子迁移率均比垂直入射大,薄膜密度和sp3键含量都比垂直入射小.不同的离子束入射角随着到达比和入射能的变化,对薄膜结构的影响不同.离子束斜入射时可以得到不同结构的膜.
开花李运超郭德成李双李之杰
关键词：类金刚石薄膜入射角离子束辅助沉积分子动力学模拟
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