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辽宁省教委基金(20040205)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
宋利民
喻华
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相关机构:
大连海事大学
辽宁师范大学
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发文基金:
辽宁省教委基金
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相关领域:
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喻华
1篇
宋利民
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年份
1篇
2010
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一种X光多层膜的设计方法
被引量:2
2010年
为了解决X光多层膜理论设计与实际镀膜反射率不一致的问题,基于物理学关于X光在多层膜界面散射的最新理论,提出一种数学模型,编制了软X光多层膜的设计程序。在考虑界面粗糙度、膜层配比、膜层周期多个实际参数条件影响下,多层膜反射率与入射X光波长的关系曲线。其设计结果与传统的设计方法相比,不但理论先进,能够给出最佳结构参数的设计结果,而且能够给出膜厚误差、配比误差对反射率的影响,同时考虑了多层膜的所有参数,使反射率设计结果更接近于实际镀膜结果。
喻华
宋利民
关键词:
X射线
反射率
程序设计
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