吉林省科技发展计划基金(20100519)
- 作品数：4 被引量：14H指数：2
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- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 单镜支撑结构对镜面面形影响的接触有限元分析被引量：2
- 2014年
- 单镜支撑技术是影响光刻机光刻精度的关键因素之一。为了分析某光刻物镜单镜支撑结构对镜面面形的影响,采用接触有限元分析的方法对某光刻物镜系统单镜支撑结构进行分析。由于单镜还受到预紧力和夹紧结构的影响,分析时建立预紧力大小不同,夹紧结构刚度不同,支撑结构刚度不同的有限元模型,计算镜体的自重变形,并由此计算镜面面形的峰谷值(PV)、均方根值(RMS)。分析结果表明,当支撑结构特征尺寸D≥0.6 mm时,镜面面形精度对支撑结构特征尺寸D的稳定性最好,这为以后不同口径光刻机物镜系统的单镜支撑技术提供参考。
- 刘悦任田田贾振超
- 关键词：支撑结构面形
- 基于全站仪测量系统的大型结构件逆向设计被引量：3
- 2014年
- 为了解决大型结构件测量困难,设计效率低下,产品误差较大等问题,本文提出了采用全站仪测量系统对大型结构件进行逆向设计的方法。以大型结构件某挖掘机动臂为例,利用全站仪测得了外形轮廓数据,通过UG/ImageWare实现了数据处理与曲面重构,并在ImageWare中进行了误差分析,得到点云与曲面的误差值为-0.933mm到0.975mm,符合最大误差±1.0mm要求。说明运用全站仪对大型结构件进行逆向设计是可行的,与传统设计方法相比更加的快捷、高效、高质量,对国内制造业发展具有重要的意义。
- 任田田刘悦郭锦山李振宇
- 关键词：全站仪测量方法数据处理
- 基于全站仪组网测量系统的测量方法研究被引量：7
- 2013年
- 全站仪测量系统是由一台计算机和数台全站仪组成的一种测量系统。可以完成在工业测量中的单点坐标的测量,特别是大尺寸结构件的测量。根据坐标拟合测量原理,使多台全站仪更精确地统一到同一用户坐标系下进行测量,消除大型结构件单站测量的盲点,提高测量精度,实现大型结构件的加工及装配的在线检测。
- 郝志伟刘悦李振宇
- 关键词：全站仪测量方法
- 基于UG/Imageware的汽车反光镜的逆向设计被引量：2
- 2012年
- 使用专业的逆向工程软件(UG和Imageware)对汽车反光镜进行逆向设计,在Imageware中对点云进行了精确的处理,并在UG中进行三维模型重构,再把三维模型导回Imageware中将三维模型与初始点云进行比较,结果表明这种设计方式能够非常精确地表示实体的各项特性。
- 刘博刘悦王倩
- 关键词：逆向工程IMAGEWAREUG
